HFE-347,化学名称1,1,2,2-四氟乙基-2,2,2-三氟乙基醚,别名四氟乙基三氟乙基醚,化学式C4H3F7O,分子量200.06,CAS号406-78-0,外观为无色透明液体状,熔点-91℃,沸点56℃ at 760mmHg,无闪点,不可燃。
HFE-347用途广泛,主要用作环保型清洗剂、溶剂、制冷剂、冷却介质、发泡剂等。在清洗剂领域,HFE-347凭借低表面张力、低粘度优点,可以实现精密清洗,能够应用在半导体器件、电子元器件、OLED、光学仪器、精密零件、塑料金属等清洗场景中,特别适合应用在半导体、显示面板、光学仪器等对洁净度要求较高的场景中。
在溶剂领域,HFE-347可以用作反应溶剂、滑润剂稀释剂、防锈剂溶剂、氟油稀释剂、AF防指纹药液稀释剂等。在冷却领域,HFE-347具有优良的电气绝缘特性和热传导性能,可以用作半导体刻蚀装置控温冷媒、数据中心浸没式冷却液等。在环保要求日益提高背景下,HFE-347作为环保型产品,成为替代CFCs、HCFCs、HFCs等氟碳化学品的理想选择之一。
在HFE-347下游应用市场中,半导体场景用HFE-347纯度要求最高。电子级HFE-347属于高技术含量、高附加值产品类型,能够提升企业的核心竞争力与盈利能力。2025年,全球电子级HFE-347市场规模约为4.25亿元,预计2026-2030年复合年均增长率为8.35%。
2025年3月26日,我国团体标准T/CIET 1127-2025《半导体工艺用氟化液-全氟聚醚和氢氟醚》实施,对半导体工艺用氟化液的基本要求,包括选型指导、测试验证、使用、维护等内容作出规定。HFE-347是氢氟醚产品之一,该团体标准的出台,将引导我国HFE-347行业发展日益规范化。
新思界
行业分析人士表示,我国HFE-347行业产能规模正在扩大。2025年10月,福建三农新材料有限责任公司氟精细化学品二期技改项目(一阶段)竣工环境保护验收公示,其中包括氢氟醚(HFE-347)设计产能1000t/a;2026年3月,福建海德福新材料有限公司年产15000吨高性能氟材料项目(一期工程)三阶段竣工环境保护验收信息公示,其中包括250吨/年1,1,2,2-四氟乙基-2,2,2-三氟乙基醚(HFE-347)。
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