离子源，是使中性原子或分子电离，并从中引出离子束流的装置。离子源的工作原理是，采用电子轰击、快原子轰击、化学电离、场致电离、光电离、热电离等方法产生离子，利用电场或磁场使离子加速，聚焦离子形成离子束流。
离子源主要有高频离子源、弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源、双彭源等产品类型。其中，PIG离子源是在弧放电离子源的基础上改进得到；双彭源是将PIG离子源、双等离子体离子源二者结合于一体制得。随着技术不断进步，新型的、性能更优的离子源还在不断增多。
在科研领域，离子源可应用于离子体与固体表面相互作用、等离子体化学、高温化学、原子物理学、核物理等研究领域；在工业领域，离子源可应用在离子束沉积、离子束辅助沉积、离子束溅射镀膜、离子注入掺杂、离子束表面改性、离子束刻蚀、离子束清洗等方面。
在质谱仪领域，离子源的功能是对样品进行电离，实现离子化。质谱离子源产品主要有电子电离（EI）、化学电离（CI）、电喷雾电离（ESI）、基质辅助激光解吸电离（MALDI）等类型，通常根据分析需要进行选择。预计2023年，全球质谱仪市场规模约为89亿美元，2023-2028年将继续以7.4%的复合年均增长率增长，这为质谱离子源带来广阔发展空间。
重离子加速器可以应用在天体物理、原子物理、材料科学等研究方面，医用重离子加速器是重要放疗装备，适于不宜手术、易复发的恶性肿瘤治疗。离子注入机是一种高压小型加速器，广泛应用在半导体材料、大规模集成电路等离子注入方面。离子推进器是航天推力器的重要产品类型，可用于航天器姿态控制、轨道变动、星际飞行等方面，在航天产业渗透率高。总的来看，离子源市场发展前景广阔。
新思界
行业分析人士表示，在全球范围内，离子源生产商主要有美国赛默飞世尔（Thermo Fisher）、美国AB SCIEX、美国沃特世Waters、美国zeroK NanoTech、德国卡尔蔡司（Carl Zeiss AG）、捷克Tescan、日本日立（Hitachi）、中国科近泰基等。
