在制造流程中，晶圆需进行多轮测试，包括晶圆接受测试（WAT）、晶圆良率测试（CP）、芯片最终测试（FT）、系统级测试（SLT）等。其中晶圆验收测试（WAT）是晶圆产品流片结束之后和品质检验之前，测量特定测试结构的电性参数。WAT测试设备是改进晶圆工艺、保障良品率的基础，在晶圆制造过程中不可或缺。
WAT测试设备主要由测试仪表、PC控制系统、测试头、探针台等部分组成，其中PC控制系统是核心部件之一，功能为控制整个WAT测试设备运行。WAT测试设备包括参数测试、功能测试两部分，测试参数包括电压、电流、频率、电阻等，测试器件有MOS晶体管、寄生MOS晶体管、双极型晶体管、方块电阻、通孔接触电阻、金属导线电阻等。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年晶圆接受测试（WAT）设备行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，我国是全球晶圆制造大国，8寸晶圆年产能常年位居全球前列，2022年，我国大陆8寸晶圆产能占全球产能的20.5%以上。2022年，我国大陆WAT测试设备市场空间在12亿元左右，预计2028年这一市场空间将达到35亿元。
WAT测试设备市场集中度较高，其中美国Keysight占据全球90%以上的市场空间。近年来，在国产替代背景下，我国也诞生出了一批优秀的WAT测试设备供应商，如广立微、联讯仪器等。
广立微WAT测试设备于2020年通过示范性应用验收，近几年开始规模化进入晶圆厂，目前其设备的各项技术指标已达到或超过海外对标产品。广立微具备1000套/年以上WAT测试设备生产能力，随着客户群体扩大、市场认可度提升，广立微在国内WAT测试设备市场的占有率将不断提升。
WAT测试设备属于半导体设备，近年来，我国政府发布了多项利好政策推动半导体设备行业发展，包括《“十四五”数字经济发展规划》、《关于推动能源电子产业发展的指导意见》等。在国家政策推动下，我国WAT测试设备将不断向好发展。
新思界
行业分析人士表示，我国是晶圆制造大国，随着晶圆制造规模扩大，WAT测试设备市场需求将不断释放。全球WAT测试设备供应商不多，市场竞争较为缓和，但市场集中度极高，美国Keysight处于市场垄断地位。在国产替代背景下，我国WAT测试设备企业正不断崛起，未来市场占比有望提升。
