干涉仪，是根据光的干涉原理制造而成的仪器，可以获得波的相位信息。光的干涉是指将同一光源的光分为两束光，各自经过不同的光程再合并，当光程差小于光源相干长度时，会产生干涉现象。干涉仪主要由光源、分束器、反射镜、检测器等部分组成。
干涉仪种类较多，按照传播路径不同来划分，可以分为单路径干涉仪、多路径干涉仪两大类；按照光源不同来划分，可分为波前分解干涉仪、幅度分解干涉仪两大类；按照测试方式不同来划分，可以分为迈克尔逊干涉仪、斐索干涉仪、瑞利干涉仪、萨格纳克干涉仪、特外曼-格林干涉仪、马赫-曾德尔干涉仪、法布里-珀罗干涉仪等。
干涉仪采用强度大、带宽窄、单色性优、方向性好、空间相干性好的激光作为光源，产品具有灵敏度高、精度高、灵活性高等优点，且结构紧凑、体积小，可以测量几何误差（包括线性定位、直线度、偏摆角、俯仰角、翻滚角等），也可以测量速度、加速度、振动等。
干涉仪可以广泛应用在天文学、海洋学、地震学、量子物理学、光学、波普分析、工程测量、精密测量、工业设备、遥感、雷达、声呐、生物学、医学等领域，实现长度测量、折射率测量、波长测量、引力波测量、光谱分析、光学元件检验等。
在多种干涉仪产品中，迈克尔逊干涉仪最为常见，其属于多路径干涉仪，一般采用氦氖激光器作为光源，主要用来测量长度、折射率，配合折射角、反射镜使用时，还可以测量定位误差、运动误差、形状误差，例如线性定位误差、平行度误差、垂直度误差、速度、角度等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2029年中国干涉仪行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，干涉仪产品技术还在不断升级，应用范围正在不断扩大，市场需求持续增长。2023年，全球干涉仪市场规模约为43.9亿元；预计2023-2029年，全球干涉仪市场将继续以4.5%的年复合增长率增长；预计到2029年，全球干涉仪市场规模将达到57.2亿元。
新思界
行业分析人士表示，在全球范围内，干涉仪生产商主要有美国ZYGO、美国是德科技（Keysight Technologies）、美国布鲁克（BRUKER）、美国4D Technology、美国Onto Innovation、美国Palomar Technologies、美国Mahr-ESDI、德国OptoTech、德国XONOX、德国TRIOPTICS、德国NanoFocus AG、英国雷尼绍（Renishaw）、法国Kylia、瑞士Haag-Streit、日本TOSEI ENGINEERING CORP等。
