半导体专用温控设备主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度，以实现半导体工艺制程的控温需求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备，主要由换热器、控制器、压缩机等部分构成。
半导体专用温控设备产业链上游为传感器、金属材料、非金属材料等原材料的供应；下游主要用于新能源、集成电路等领域。从全球市场来看，随着人工智能、云计算等技术不断进步，市场对高性能半导体器件的需求不断增加，半导体市场规模不断扩大，半导体专用温控设备具有广阔消费市场。2022年全球半导体市场规模超过5700亿美元，半导体专用温控设备市场规模接近7亿美元。
根据新思界产业研究中心发布的
《2024-2029年中国半导体专用温控设备行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，从国内市场来看，随着我国科技发展水平不断提升，制造业转型升级步伐逐步加快，国内企业在半导体领域的研发及创新实力不断提升，半导体专用温控设备市场规模呈现逐年增长的趋势。2018我国半导体专用温控设备市场规模约为1.1亿美元，2022年市场规模超过1.5亿美元，2018-2022年复合年增长率约为8%。
半导体专用温控设备在半导体刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影、离子注入、化学机械抛光等环节中应用广泛。从各环节工艺占比来看，半导体专用温控设备在刻蚀环节占比超过60%，位列第一；薄膜沉积环节占比约为18%，位列第二；涂胶显影环节占比超过9%，位列第三。
国外半导体行业起步较早，在半导体专用温控设备领域具有一定技术及经验积累，在全球市场中处于主导地位，代表性企业有ATS、GST等。我国半导体专用温控设行业经过一段时间的发展，技术水平不断提升，部分企业逐渐打破国外技术垄断，在国内市场中的份额占比不断提高。北京京仪自动化装备技术股份有限公司是一家集研发、生产和销售为一体的高端装备制造企业，目前是国内唯一一家实现半导体专用温控设备规模装机应用的设备制造商。
新思界
行业分析人士表示，随着半导体制造技术不断进步，产业转型升级步伐逐步加快，市场对半导体产品的精确度等要求将会不断提升，半导体专用温控设备市场需求将不断增长，国内生产企业需要不断加大资金投入和研发力度，提高设备稳定性、可靠性，提升自身核心竞争力。
