锁相红外显微镜是一种非破坏性电性故障定位设备。锁相红外探测技术是通过对被测样品施加周期性的激励（如电压、电流、热波、微波等），经热像仪采集红外图像，得到被测样品上微弱发热信号的技术。在IC通电情况下，锁相红外显微镜可探测缺陷位置热辐射的分布，来定位失效点。
电性失效分析是半导体检测分析的关键环节，近年来，随着半导体器件功率快速增长、先进封装广泛应用、器件互连方案日益复杂，半导体故障定位和分析难度随之提升。锁相红外显微镜是利用锁相红外探测技术进行故障定位，具有灵敏度高、定位精准等优势，是实验室研发、IC产品设计、工业检测、半导体制造、电路失效分析等领域的常用失效分析工具。
锁相红外显微镜可用于晶圆、封装器件、电路板等多种不同种类器件的失效点定位，包括线路短路、漏电、氧化损坏、ESD缺陷、器件电阻异常等失效点。我国是全球半导体器件制造中心，半导体检测市场需求旺盛，这为锁相红外显微镜市场发展提供了广阔空间。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年锁相红外显微镜行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，锁相红外显微镜相关企业有赛默飞世尔、德国蔡司、美国尼康、苏州凌光红外科技有限公司、上海西努光学科技有限公司等。凌光红外是国内首家国产电性失效分析设备的企业，以锁相成像技术为核心，推出了制冷锁相红外显微镜、非制冷锁相红外显微镜及微光显微镜产品，其中锁相红外显微镜已经实现全国产化供应。
热像仪是锁相红外测量的核心，目前使用的热像仪分为制冷红外相机、非制冷红外相机两大类。制冷红外相机需搭配制冷机工作，测温精度可达到20mK；非制冷红外相机可在室温下工作，测温精度达60mK。根据成像仪不同，锁相红外显微镜分为制冷型锁相红外显微镜、非制冷型锁相红外显微镜两大类。非制冷型锁相红外显微镜具有价格较低、寿命较长、工作无噪音等优势，在半导体领域应用广泛。
新思界
行业分析人士表示，锁相红外显微镜是常见电性失效分析设备，在半导体制造、工业检测、IC产品设计等领域应用广泛。我国是半导体制造大国，锁相红外显微镜市场需求空间较大，受技术、研发能力限制，早期我国锁相红外显微镜市场供应由国外企业垄断，但随着国内企业崛起，锁相红外显微镜国产替代步伐将加快。
