球差校正透射电镜（AC-TEM）分辨率高 全球生产企业数量少

　　球差校正透射电镜（AC-TEM），也称为球差电镜，利用球差校正装置对透射电镜进行校正，以提高产品分辨率，是一种新型透射电镜。

 

　　透射电镜（TEM）的电子束可以穿透样品，能够观察光学显微镜无法观察的细微结构。透射电镜包含聚光镜、物镜、中间镜、投影镜等多个电磁透镜，透镜存在透镜像差问题，包括球差、色差、像散等，其中，球差由电磁透镜中心区域与边缘区域电磁波会聚能力不同而产生，是影响透射电镜分辨率的最主要因素。为了提升分辨率，球差校正透射电镜被开发问世。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国球差校正透射电镜（AC-TEM）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，球差校正透射电镜消除了电磁透镜存在的球面像差问题，可以大幅提高分辨率，使分辨率从传统透射电镜的（亚）纳米级提升至（亚）埃级，能够更加精确地表征材料结构。

 

　　透射电镜可以分为分普通透射电镜（TEM），以及在普通透射电镜基础上增加扫描附件制造而成的可实现精细结构成像的扫描透射电镜（STEM）两大类。以此来看，球差校正透射电镜还包括球差校正扫描透射电镜（AC-STEM）、双球差校正透射电镜等形式。

 

　　透射电镜的多种电磁透镜均会产生球差，均可对其进行校正，常见的是聚光镜校正、物镜校正。在TEM模式下，物镜球差是影响分辨率的主要因素，AC-TEM采用物镜球差校正，即物镜球差校正透射电镜；在STEM模式下，聚光镜球差是影响分辨率的主要因素，AC-STEM采用聚光镜球差校正，即聚光镜球差校正透射电镜；同时拥有STEM与TEM工作模式的透射电镜，会采用聚光镜球差校正与物镜球差校正两种，即双球差校正透射电镜。

 

　　球差校正透射电镜可以应用在物理学、化学、材料科学、生物学、医学、地质学等领域，在材料科学方面可用来研究分析半导体材料、二维材料、纳米材料、金属材料、无机非金属材料、高分子材料等，特别是在纳米材料领域具有明显应用优势。球差校正透射电镜价格高昂，现阶段主要用于科研机构中，全球市场保有量少。

 

　　新思界行业分析人士表示，球差校正透射电镜技术壁垒高，全球生产企业数量少，美国赛默飞、日本电子、日本日立为代表性生产商。日本电子（JEOL）推出JEM ARM 200F、JEM ARM 300F等产品类型；美国赛默飞（旗下FEI）推出Titan G2 60-300、Titan G2 80-200 ChemiSTEM、Spectra Ultra等产品类型，还推出定制高分辨率球差校正（扫描）透射电镜服务。

 

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