低压电子显微镜(LVEM),简称低压电镜,是一种相比常规电子显微镜可以工作在更低加速电压条件下的新型显微镜。加速电压单位为kev,即千电子伏特,是为使电子加速通过1000v电压差所需要的能量。
常规电子显微镜加速电压较高,低压电子显微镜结构与常规电子显微镜相似,可以采用几十kev甚至更小kev的电子源,例如30kev、5kev电子源。低压电子显微镜的应用优势在于具有高衬度、高反差特点,由于低能量电子散射性更强,图像对比度更高,可以获得高清晰度图像,部分特殊材料例如介孔材料拥有数量多且极小孔径,需要采用低压电子显微镜来获取高清图像。
低压电子显微镜细分产品包括低压扫描电子显微镜、低压透射电子显微镜两大类。在实际应用中,随着技术不断进步、分析要求不断提高,低压电子显微镜的分析模式、成像模式不断增多,现阶段一台高端低压电子显微镜已经集成了扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、扫描透射电镜(STEM)、能量色散谱(EDS)、电子衍射(ED)等多种模式。
低压电子显微镜可以实现明暗场测量、表面测量、元素分析、晶体结构分析等,广泛应用在材料科学、生命科学等领域。其中,生命科学是低压电子显微镜的最大下游市场,需求占比超过50%,其次是材料科学,其他应用需求远低于这两大领域。未来随着生物技术、纳米材料等研究需求不断增多,低压电子显微镜市场还将继续增长。
新思界
行业分析人士表示,在全球范围内,低压电子显微镜生产商数量较少,主要是美国FEI(赛默飞世尔Thermo Fisher旗下)、美国Delong、德国蔡司(Zeiss)、捷克Tescan Group、日立高新(Hitachi High-Technologies)、日本电子(JEOL)等,少数几家企业占据大部分市场份额,其中FEI竞争实力最强、份额占比最高,其他企业正在加快追赶步伐,2022年,Delong公司推出新一代LVEM 25E低电压电子显微镜,具有TEM、STEM、SEM、EDS、ED五种成像和分析模式。