反射电子显微镜（REM）性能特点突出 在材料科学领域发展空间大

　　反射电子显微镜（REM），简称反射电镜，是一种利用样品反射的电子束进行成像的显微镜。反射电子显微镜可以观察样品的表面形貌、微观结构，以及分析样品的化学成分，是一种重要的表面分析工具。

 

　　按照原理来划分，电子显微镜可以分为扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、反射电子显微镜（REM）三大类。根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国反射电子显微镜（REM）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，反射电子显微镜利用高能电子束，以特定角度照射样品表面，收集反射出来的携带有样品信息的电子进行分析，进而成像，可以获得高分辨率图像。

 

　　透射电子显微镜的电子束穿透样品，通过收集透过样品的电子进行成像，主要用于分析样品内部的结构信息，与反射电子显微镜功能存在差异。扫描电子显微镜也是观察样品表面微观形貌的工具，利用从样品表面散射出来的电子进行成像，但其采用依序式取像法，表面动态现象观测能力有限，而反射电子显微镜的电子束平行于样品表面照射，在图像变化捕捉方面更具优势。

 

　　电子束反射是反射电子显微镜工作的核心技术，可以采用反射高能电子衍射（RHEED）、反射电子能量损失谱（REELS）等方式。反射高能电子衍射利用单能电子照射物体表面，在向前散射方向收集电子束；反射电子能量损失谱利用特定能量电子束与物体发生非弹性碰撞，对反射电子能量分布进行测量。

 

　　反射电子显微镜在材料科学领域发展空间大，可以研究晶体结构、异质结界面等，在新型材料设计研发方面发挥重要作用。例如，在分子束外延生长的AlGaAs/GaAs异质结构外延材料、InGaAs/GaAs应变超晶格材料研究领域，反射电子显微镜能够观察AlGaAs/GaAs的异质结界面，InGaAs/GaAs应变超晶格表面的Crosshatch条纹。

 

　　新思界行业分析人士表示，2023年，全球电子显微镜市场规模约为39.6美元，预计发展到2029年将增长至56.8亿美元，2023-2029年复合年均增长率为6.2%。在全球电子显微镜市场中，扫描电子显微镜份额占比最高，其次是透射电子显微镜，反射电子显微镜份额占比小，但其在特殊应用领域具有较强的不可替代性。此外，透射电子显微镜技术不断升级，基于透射电子显微镜开发的反射电子显微镜已经问世。由此来看，未来反射电子显微镜仍有良好发展空间。

 

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