电容式微机械超声换能器（CMUT），是基于电容式传感原理与微机械（MEMS）技术制造而成的进行超声波检测的一种装置。
CMUT是一种多层结构，组成结构中包括基底、振动薄膜、电容器等。CMUT的工作原理是，发射状态下，施加直流电压产生电场，使振动薄膜发生简谐振动产生超声波；接收状态下，振动薄膜接收超声波，受声压作用产生振动，引起电容器电容值发生改变，通过检测电容值变化情况实现超声波检测，并将声能转换为电信号进行输出。
超声诊断是医学成像技术的重要组成部分，具有无创、结果直观、适用范围广、成本低等优点，市场普及率高。随着医疗技术不断进步，精准医疗成为发展趋势，医学成像高清晰度要求日益攀升，在此背景下，基于CMUT的超声成像探头，凭借可实现阵列化、可与电子产品集成、灵敏度高等优点，能够替代传统超声探头，在医学成像领域发展空间巨大。
另外，基于CMUT还可实现高强度聚焦超声（HIFU），可以用于肿瘤治疗领域，利用高强度超声产生的热量使肿瘤组织坏死。除医学领域外，CMUT还可以应用在生物传感、生物识别、化学传感、水下超声等方面，广泛应用于电子电器、仪器仪表、工业无损检测、军工国防等领域。
新思界
行业分析人士表示，我国政府对CMUT的重视程度正在不断提高。2023年度国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项中提出，开发电容式微机械超声波换能阵列，突破MEMS超声换能器芯片、超声换能器线性阵列、全硅振膜高精度低应力加工等关键技术。
我国CMUT相关研究成果正在不断增多，发表的CMUT相关期刊文献数量快速增加，主要研究机构是中北大学、天津大学。2023年，中北大学与中国工程物理研究院电子工程研究所合作，设计了一款宽频带CMUT，可用于主动探测与其自身相距20cm以上的物体，相关研究成果发表在《微纳电子技术》期刊上。
