吸气剂离子泵为超高真空泵 中科科仪是我国代表性生产商

　　吸气剂离子泵，一种真空泵，采用物理法抽真空，将被抽气体分子电离，在电场或者磁场作用下，输送至泵的吸附表面，被吸附剂捕集从而实现真空。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国吸气剂离子泵行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，吸气剂离子泵将吸气剂泵与离子泵优点相结合，利用吸气剂泵抽出活性气体，利用离子泵抽出惰性气体。吸气剂离子泵是一种超高真空泵，最高真空极限可达到10-7至10-9Pa；无需密封液体，对真空环境无污染；抽速高，可快速达到所需真空条件。

 

　　吸气剂离子泵包括蒸发离子泵、溅射离子泵两大类。蒸发离子泵，气体分子电离后，被连续或间断升华并覆盖在泵壁上的吸气剂吸附，可以应用在电子元器件、加速器、热核装置等真空系统中。溅射离子泵，气体分子电离后，被阴极连续溅射所释放的吸气剂吸附，可以应用在电子显微镜真空系统中，用于物理学、材料学、医学等研究领域，也可用于加速器中。

 

　　溅射离子泵具有极限压强低、振动低、适应场景范围宽等优点，是一种代表性的超高真空泵。在电子显微镜领域，场发射扫描电镜、场发射透射电镜属于高端产品，具有高分辨率特征，为保证使用寿命以及成像质量，其样品台、电子枪、探测器等零部件需要工作在超高真空环境中，通常采用机械泵、涡轮分子泵、离子泵组合的方式来提高真空度，采用的离子泵通常是溅射离子泵。

 

　　为满足科研需求，我国市场对电子显微镜的要求日益高端化，目前我国已经具备场发射扫描电镜、场发射透射电镜自主研制能力，为溅射离子泵带来广阔发展空间。同时，我国为电子产品生产大国，加速器、核工业等领域技术发展迅速，利好吸气剂离子泵整体行业发展。

 

　　新思界行业分析人士表示，在全球市场中，美国安捷伦（Agilen）是代表性吸气剂离子泵生产商，推出非蒸散型吸气剂（NEG）复合离子泵，例如CombiNEG 40-400、CombiNEG 150-1000/2000吸气剂复合型离子泵，具有大容量、超高抽速、无振动、长使用寿命等特征，以及钛升华复合离子泵（TSP），例如VacIon Plus 150/300/500复合泵。安捷伦在全球吸气剂离子泵市场中竞争力强。

 

　　在我国市场中，中科科仪是代表性吸气剂离子泵生产商，推出多款溅射离子泵，例如KYKY 2L-50、3L-400C等。除以上两家企业外，全球吸气剂离子泵生产商还有日本爱发科（ULVAC）、德国莱宝（Leybold）、德国Gamma Vacuum、荷兰HOSITRAD、美国Thermionics等。爱发科（ULVAC）推出多款溅射离子泵，例如PST-100CX/AX、PST-110AU、PST-400CX II、PST-400AX II等。

 

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