压电纳米定位台,也称为压电纳米位移台,产生动力的驱动源采用压电陶瓷,功能是以纳米级别精度进行运动,实现纳米级别位置控制。压电纳米定位台是将光、机、电等多种技术集于一体的超精密运动控制技术。
压电纳米定位台主要由驱动源、传感器、控制器、基座、平台、连接件等组成,驱动源一般采用一个或多个锆钛酸铅(PZT)压电陶瓷制造而成,利用逆压电效应产生形变来提供动能,平台上可以安装固定负载,能够直接带动负载实现微米级、亚纳米级、纳米级位移与定位,可以与高精密仪器装备进行集成。
压电纳米定位台工作时,压电陶瓷产生驱动力,通过柔性铰链进行传递与放大,经传感器传递给控制器,实现移动与定位。压电纳米定位台具有运动分辨率高、导向精度高、负载大、运动行程范围大、稳定性好等特点,可以广泛应用在需要超高精密运动与定位控制的场景中。
在全球范围内,领先的压电纳米定位台生产商主要集中在欧美国家,代表性企业有美国Aerotech、美国Newport、美国Mad City Labs、美国Micronix、德国Piezosystem jena、德国Physik Instrumente、德国OWIS、德国Attocube、法国PIEZOCONCEPT、英国PRIOR等。
受精密仪器、高端制造等产业发展加速推动,我国进入压电纳米定位台市场布局的科研机构与企业数量不断增多。例如,松山湖材料实验室研制出拥有核心技术的压电驱动纳米位移台,能够实现纳米级别的精密位移,可以用于科学实验、精密制造、半导体工业等领域,填补了国产空白。现阶段,我国压电纳米定位台生产商主要有联合光科、卓聚科技、研生科技等。
新思界
行业分析人士表示,未来,进一步提高精度,以及实现智能化,是压电纳米定位台技术发展趋势,可以通过材料改进、结构优化等方式来提高定位精度与定位自由度,通过引入人工智能、机器学习等技术来提升自适应能力与智能化水平,进一步扩大其发展空间。