低温真空泵是一种利用20K以下低温表面凝聚吸附气体的真空泵，又叫低温泵、冷泵、冷凝泵，一般是以低温液体（液氮或液氦）或低温制冷机为冷源。低温真空泵以其高效的抽气能力和极低的极限压力，为半导体、显示面板制造、分子束研究、真空镀膜、表面分析、离子注入以及空间模拟等高科技领域提供了理想的清洁真空环境。
目前，我国低温真空泵市场呈现外资品牌和本土品牌共同竞争的格局：
①外资企业代表性公司有日本爱发科、日本住友、CTI等，外资企业在项目规模和资金投入较大，其技术成熟度也达到了世界先进水平，在低温真空泵行业中处于竞争优势地位，其中，日本住友产品性能较高，其客户集中于要求高的半导体设备领域；日本爱发科的客户集中于显示面板领域；CTI虽然技术实力及产品性能较强，但作为美国企业，其受到美国对华高技术领域制裁，国内半导体设备厂商基于供应链安全考量，主动推进关键零部件的“去美化”，使得CTI几乎放弃在华低温真空泵业务。
②本土企业代表性企业有浙江博开机电科技有限公司与安徽万瑞冷电科技有限公司、南京鹏力科技产业集团等，其中，安徽万瑞冷电科技有限公司作为本土领先的低温真空泵生产商，立足于国内半导体设备厂商需求，研发和生产高端产品，其产品批量供应北方华创，助力国内半导体设备供应链自主化；南京鹏力科技产业集团作为中船旗下企业，在制冷机方面具备优势，为其低温真空泵技术发展提供了技术支撑。整体而言，本土企业由于研发生产时间短，生产技术和工艺与国际领先水平还具有一定差距，能够量产的低温真空泵产品种类较少，整体供给能力有限。据新思界发布的《
2024-2029年中国低温真空泵行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2023年，中国低温真空泵产量不足2500台，远不能满足国内需求。
新思界
分析人士认为，随着国内半导体行业的不断发展，下游领域对低温真空泵的产品性能要求持续提升，尤其是产品的抽速、恢复时间、抽气容量、再生周期、能耗等指标。例如，随着半导体行业的快速发展，下游用户对氢气和氩气等气体的抽气速度和容量需求日益增长。具备大抽速和大容量特性的低温泵不仅能够满足半导体制造技术进步的需求，还能有效延长泵的再生周期，从而提升整体的生产效率。因而，国内低温真空泵企业可以通过改进压缩机、变频技术等方式缩短降温时间，并朝着集成度、智能化、网络化更高的方向发展，通过优化控制算法使其可满足不同工况与应用环境，进一步提升技术及产品竞争力。
