离子束抛光机是一种表面处理设备，即基于离子溅射原理，在真空状态下，通过离子源引束产生等离子体能量束流，束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除，从而实现元件的高精度加工。
离子束抛光机通常由控制系统、真空系统、离子源、工作台、气体循环系统等部分组成。其中控制系统具有操作和监控设备的作用；真空系统用于提供工作环境，以确保离子束的稳定性；离子源是离子束抛光机的最核心部分，作用是利用电磁场加速离子形成离子束；工作台用于支撑或控制工件；气体循环系统主要负责废气回收和处理。
离子束抛光机是非接触式加工设备，相比于传统抛光设备，具有加工精度高、维护费用低、不产生亚表面损伤、可加工任意形状曲面等优势。离子束抛光机适用于特殊、大面积、异型等材料的超高精度修形及抛光，在半导体、生化检测、航天航空零部件、光学镜片、精密模具、医疗器械、汽车等超精密制造领域应用日益广泛。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国离子束抛光机市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，离子束抛光机行业存在一定的技术、研发和生产壁垒，行业进入门槛较高，受此限制，目前离子束抛光机生产企业相对较少，主要包括德国NTG公司、美国伊士曼柯达、博顿光电、长沙埃福思科技、至臻光学、埃德万斯、天创精工科技等企业。
近年来，得益于零部件供应能力提升、技术突破以及国家政策支持，我国离子束抛光机国产替代步伐逐渐加快。如至臻光学研制出了国内首台离子束超精密抛光机，并实现推广商用，打破了国外超精密抛光技术卡脖子问题，2024年至臻光学新研发制造基地正式投产，标志着其超精密光学元件制造能力进一步提升；博顿光电解决了国内在高端离子源及离子束设备领域存在的供应短缺、价格高的问题，离子源核心部件成本实现了大幅降低。
新思界
行业分析人士表示，在发展趋势上，为满足多方位应用需求，离子束抛光机将不断向智能化、超高精度、多功能化等方向发展。离子束抛光机属于高端设备，在制造业升级背景下，我国离子束抛光机市场存在巨大的发展和需求空间，未来随着设备价格下降，离子束抛光机应用将更加广泛。
