等离子清洗技术是一种新型表面处理技术，工作原理分为反应性等离子清洗、物理性等离子清洗两大类。反应性等离子清洗是利用等离子体中的活性粒子与材料表面的化学反应，去除材料表面的污染物和杂质；物理性等离子清洗是利用等离子体高能物质活化作用及对污染物的轰击作用，将污染物从工件上剥离去除。
等离子清洗技术是基于等离子体实现的。等离子体又称电浆，是一种由电子、离子、自由基等组成的电离气体。等离子体是物质的第四态（不同于固体、液体、气体），具有高能量、高活性等特点。根据等离子体产生方式不同，等离子清洗技术又分为大气压等离子清洗技术、微波等离子清洗技术、射频等离子清洗技术、低温等离子清洗技术等，其中射频等离子清洗技术应用最广泛。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年中国等离子清洗技术行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示，等离子清洗技术适用范围广，可用于半导体、金属、陶瓷、塑料、玻璃、高分子材料等各种材料的表面处理，此外其还具有高效、无损伤、环保、无需干燥、无废液产生等优点。等离子清洗技术已在可再生能源、医药、航空航天、半导体、微电子、晶圆制造等领域得到广泛应用，尤其是微电子和晶圆制造领域。
等离子清洗机是实现等离子清洗技术的重要载体。等离子清洗机又称为等离子表面处理机、等离子清洁机，通常由高频电源、反应气源、真空腔、真空泵、电极、控制系统等部分组成。其中高频电源可为气体放电提供能量，真空泵作用是抽除副产物，反应性气体通常是氩、氧、氮、四氯化碳等单一或混合气体。
近年来，我国等离子清洗市场发展相对稳定，行业产值整体呈增长态势，国产等离子清洗机逐渐实现进口替代，市场占有率有所提升。我国等离子清洗市场布局企业较多，包括广东安达智能装备股份有限公司、东莞市恒芯半导体设备有限公司、东莞市晟鼎精密仪器有限公司、中山普雷斯等离子科技有限公司等。
新思界
行业分析人士表示，等离子清洗技术在精密清洗、先进制造等领域具有广泛应用前景，近年来，我国微电子、半导体等产业发展，为等离子清洗市场提供了广阔空间。在设备方面，国产等离子清洗机在工艺、性能等方面已达到国际先进水平，部分处于领先水平。为满足多方位应用需求，未来等离子清洗机将不断向小型化、智能化、远程化、多功能化以及环保化等方向发展。
