深紫外激光器是一种产生深紫外光束的激光器。紫外线是指太阳光中波长10-400纳米的光线，根据波长不同，紫外线分为UVA（长波）、UVB（中波）、UVC（短波）等。其中UVC短波紫外线又称为深紫外线（波长为100-280纳米）。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国深紫外激光器市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，深紫外激光器具有波长短、功率高、稳定性高、可靠性较高、光谱线宽窄、重复频率好等特点，在材料表面检测、光发射光谱、激光精细微加工等方面具有明显优势，可广泛应用在半导体、电子、医疗、基因测序、空间光通信、机械等领域。
目前和频技术、倍频技术是实现深紫外激光输出的主要方法。和频技术复杂、稳定性差、应用条件苛刻，但更容易实现短波输出；倍频技术相对简单，是目前实现深紫外输出的主要方法。倍频技术是通过非线性晶体实现的，如氟代硼铍酸钾晶体（KBBF晶体）、氧化镧锶硼酸盐（LSBO晶体）。
KBBF晶体是目前唯一可通过倍频技术实现深紫外激光输出的非线性光学晶体。但KBBF晶体层状生长习性严重，且含有剧毒铍元素，LSBO晶体作为KBBF晶体的升级产品，有望成为下一代深紫外非线性晶体材料。我国KBBF晶体、LSBO晶体技术处于全球领先地位，这为深紫外激光器研发和生产奠定了坚实基础。
2013年我国研制的深紫外固态激光器通过验收，我国因此成为全球最早实现制造实用化深紫外全固态激光器的国家。目前深紫外激光器相关生产及研发企业包括美国Lexel公司、德国CryLaS、北京科益虹源光电技术有限公司、英诺激光科技股份有限公司、武汉锐科光纤激光技术股份有限公司、南京科韵光电科技有限公司、深圳公大激光有限公司等。
英诺激光拥有微加工激光器核心技术和生产能力（包括纳秒、亚纳秒、皮秒、飞秒级），可实现工业深紫外纳秒激光器批量供应。根据公司年报数据显示，2023年英诺激光实现营业收入3.68亿元，同比增长15.06%。
新思界
行业分析人士表示，深紫外激光器应用场景广泛，近年来，随着我国制造业升级，市场对高端深紫外光源需求与日俱增，深紫外激光器市场发展空间随之扩大。我国深紫外非线性晶体技术处于领先水平，为深紫外激光器国产化发展奠定了良好基础，在国内企业积极推动下，国产深紫外激光器将不断向高端化、多元化等方向发展。
