我国拥有真空电子束熔炼（EBM）技术应用与设备研制实力 高技术产业是下游市场

　　真空电子束熔炼（EBM），是真空熔炼技术的一种，是在高真空条件下，将高速电子束流的动能转换为热能用来熔炼金属/合金的技术。真空电子束熔炼炉主要由电子枪、电源系统、真空系统、进料系统、水冷系统、水冷铜结晶器、出锭机构等组成。

 

　　真空电子束熔炼的工作原理是，以钨等难熔金属为阴极，以待熔化金属/合金为阳极，在高真空环境下，受高压电场作用，阴极发射电子汇集为电子束，电子束加速向阳极运动轰击金属/合金表面，高速电子束的动能转化为热能，使金属/合金熔化，熔融金属/合金滴落到水冷铜结晶器内凝固成锭。

 

　　真空电子束熔炼金属/合金是在水冷铜结晶器内进行，能够避免熔融金属/合金被耐火材料污染；工作环境真空度高、熔炼温度可控，可以去除氢、氮等气体元素，也可以挥发去除金属杂质、非金属夹杂物，从而保证熔融金属/合金的纯净度；熔融金属/合金滴落在水冷铜结晶器中呈自下而上顺序凝固成锭，有利于获得致密组织结构。

 

　　根据新思界产业研究中心发布的《2024-2029年中国真空电子束熔炼（EBM）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，真空电子束熔炼获得的金属/合金锭具有纯净度高、组织结构致密、机械性能优等特点，可以熔炼难熔金属、活性金属、高温合金、精密合金、高纯靶材、特殊钢等，例如钨及钨合金、钼及钼合金、镍基高温合金、钴基高温合金、永磁合金、高纯钛靶、轴承钢、超低碳不锈钢等，下游应用领域涉及航空航天、核工业、电子信息等高技术产业。

 

　　从真空电子束熔炼技术应用方面来看，宁波创润新材料有限公司利用真空电子束熔炼炉生产高端半导体材料，是我国代表性超低氧超高纯钛锭生产商，突破了大型超高纯钛铸锭生产技术，于2023年生产出全球首个直径800mm、高约1.2米、重达3吨的超高纯钛锭。

 

　　新思界行业分析人士表示，从真空电子束熔炼设备研制方面来看，有研工程技术研究院有限公司于20世纪60年代初研制出我国首台环状60kW真空电子束熔炼炉，21世纪以来陆续开发出系列产品，2020年研制出单枪最大功率800kW的真空电子束熔炼炉；宝钛集团装备科技公司自主研制的首台真空电子束熔炼炉（EB炉）于2021年9月首锭出炉，其电子束总功率约3150kW（冷枪单枪450kW），最大单锭截面尺寸1560×240mm，所有部件全部国产化。

 

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