无图形晶圆缺陷检测设备，又称无图案晶圆缺陷检测设备，指在晶圆尚未形成电路图案阶段进行缺陷检测的设备。无图形晶圆缺陷检测设备属于前道半导体检测设备，能够检测晶圆表面粗糙度异常、颗粒污染、凹坑、破裂以及划伤等缺陷，可有效提升晶圆良品率。
无图形晶圆缺陷检测设备通常由光路系统、激光光源、硅片抓取机械手、CCD相机、控制电脑、高精度伺服系统等组件构成。目前，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国具备无图形晶圆缺陷检测设备组件自主研发及生产实力的企业数量极少，这将为无图形晶圆缺陷检测设备行业发展带来一定挑战。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年无图形晶圆缺陷检测设备行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，受益于全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国已成为晶圆主产国之一。2023年我国晶圆产能同比增长超过10%，位居全球领先。无图形晶圆缺陷检测设备能够有效提升晶圆良品率，未来伴随应用需求日益旺盛，其行业发展态势将持续向好。
全球无图形晶圆缺陷检测设备市场主要集中于欧美以及日本等国，代表企业包括日本株式会社日立制作所（Hitachi）、美国应用材料公司（AMAT）、美国耐诺公司（Nanometrics Incorporated）、美国科磊公司（KLA）等。科磊为全球半导体检测设备龙头企业，市场占比达到近五成，其开发的无图案晶圆缺陷检测系统Surfscan SP2采用紫外线激光技术、先进算法以及暗场光学技术制成，具有检测速度快、检测精度高等优势。
在本土方面，我国无图形晶圆缺陷检测设备市场参与者较少，需求高度依赖进口。中科飞测专注于半导体量测设备的研发、生产及销售，为我国较早布局无图形晶圆缺陷检测设备行业研发及生产赛道的企业之一，产品主要应用于先进封装领域，2023年公司生产交付量达到近300台。据中科飞测企业年报显示，2023年公司检测设备实现营收6.5亿元，占据其业务总营收的73.5%。
新思界
行业分析人士表示，我国已成为晶圆生产大国，应用需求增长带动无图形晶圆缺陷检测设备市场空间持续扩展。目前，我国无图形晶圆缺陷检测设备行业尚处于起步阶段，具备其规模化生产能力的企业数量较少。未来伴随国家政策支持以及技术进步，我国无图形晶圆缺陷检测设备产能有望扩张。
