晶圆传片机，又称晶圆搬运设备、晶圆传输系统，指在不同半导体制造工艺之间安全、高效地传输晶圆的设备。晶圆传片机可用于处理各种尺寸晶圆，具备传输精确度高、自动化程度高、工作效率高、清洁度高、适应性好等优势。
晶圆传片机通常由晶圆抓手、机械臂、控制系统、预对准器、空气过滤器、晶圆装载装置等组件构成。晶圆抓手主要用于固定和夹持晶圆，能够保证运输稳定性；晶圆装载装置位于晶圆外部，对于晶圆传输洁净度起到重要作用。晶圆传片机技术壁垒较高，我国具备其组件规模化生产能力的企业数量极少，这将为行业发展带来一定挑战。
按照机构及工作方式不同，晶圆传片机可分为回转型晶圆传片机以及直线型晶圆传片机两种类型。回转型晶圆传片机采用双臂机械手设计，在传输准确性、稳定性、洁净度以及速度方面存在优势；直线型晶圆传片机属于传统晶圆传片设备，采用单臂机械手设计，在完成传输工作的同时，还能对晶圆缺口位置进行检测。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年晶圆传片机行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，晶圆传片机能够传输各种尺寸晶圆，在晶圆下线、传片、翻片、倒片、出厂等环节应用广泛。近年来，伴随技术成熟度提升以及应用需求增长，大尺寸晶圆市场占比不断提高。2023年我国晶圆月均产能达到近660万片，其中12英寸晶圆占比达到近六成。未来伴随人工智能、物联网、汽车电子等高新技术产业发展速度加快，我国大尺寸晶圆市场需求将日益旺盛，这将为晶圆传片机行业发展提供有利条件。
我国晶圆传片机主要生产商包括北京京仪自动化装备技术股份有限公司、东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司、深圳中科飞测科技股份有限公司等。京仪装备专注于半导体设备的研发、生产及销售，为我国晶圆传片机代表企业。据京仪装备企业年报显示，2023年公司晶圆传片设备库存量达到71台。
新思界
行业分析人士表示，受益于大尺寸晶圆产能扩张，我国晶圆传片应用需求日益旺盛，行业发展空间不断扩展。但目前，受技术壁垒高等因素限制，我国国产晶圆传片机市场占比较低。未来伴随本土企业持续发力以及技术进步，我国晶圆传片机行业景气度有望提升。
