半导体温控设备，又称半导体专用温控设备，指在半导体制造过程中用于控制温度的关键设备。半导体温控设备具有工作温度范围宽、响应速度快、精度高、易于集成、节能环保等优势，在薄膜沉积、蚀刻、光刻、退火、晶体生长等半导体工艺中应用广泛。
半导体温控设备主要包括红外测温仪、热电偶、温度控制器、加热台、冷却台、热交换器、冷却系统、温控腔室等。温度控制器能够调节和监控温度，具有体积小、使用寿命长、噪音小、精度高等优势，为半导体温控设备代表产品，在半导体物理气相沉积（PVD）以及干法刻蚀工艺中应用较多。未来伴随细分产品应用需求增长，我国半导体温控设备行业发展速度将进一步加快。
半导体温控设备属于半导体专用设备，其温度控制范围为-70℃~120℃，在集成电路制备环节需求旺盛。受益于技术进步以及应用需求增长，我国集成电路产量不断提升。据国家工信部统计数据显示，2023年我国集成电路产量达到3514亿块，同比增长6.9%。半导体温控设备能够为集成电路制备提供稳定温度环境，提升其良品率。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年半导体温控设备行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，随着下游行业发展速度加快，我国半导体温控设备市场空间持续扩展。2023年我国半导体温控设备市场规模达到近15亿元，同比增长超过10%。预计未来一段时间，伴随半导体制造技术不断进步，我国半导体温控设备市场规模还将进一步增长，到2028年将突破25亿元。
我国半导体温控设备行业集中度较高，主要生产商包括同飞股份、京仪装备等。京仪装备具备单通道、双通道以及三通道半导体温控设备批量生产能力，已掌握节能技术、制冷控制技术以及精密控温技术等半导体温控设备核心技术，占据我国市场近三成份额，长鑫科技、大连英特尔、华虹集团、长江存储等知名半导体制造商为其主要客户。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国半导体制造技术不断进步，半导体温控设备行业发展速度有所加快。在细分产品方面，温度控制器综合性能优良，为半导体温控设备代表产品。在市场竞争方面，我国半导体温控设备行业集中度较高，京仪装备作为头部优势企业，占据市场主要份额。
