静电卡盘（ESC），又称静电吸盘，指利用静电吸附力在半导体制造过程中固定和支撑晶圆的装置。静电卡盘具备可实现温度控制、环境适应性强、边缘效应小、稳定性高、可减少颗粒污染、工作精度高等优势，在等离子体处理、化学气相沉积、离子注入以及刻蚀等半导体制造环节应用较多。
静电卡盘能够固定和支撑晶圆。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国晶圆产能不断扩张，产量持续增长。受益于下游行业发展速度加快，我国静电卡盘市场空间有所扩展。根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年静电卡盘（ESC）行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，2023年我国静电卡盘市场规模达到近10亿元。
按照尺寸不同，静电卡盘可分为8英寸、12英寸等规格。不同规格晶圆适配不同规格静电卡盘。2023年我国12英寸晶圆月均产能达到近250万片，创造历史新高。未来伴随我国晶圆行业逐渐往大尺寸方向发展，12英寸静电卡盘市场占比有望提升。但目前，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国12英寸静电卡盘尚未实现批量化生产，仅有部分企业具备其自主研发实力，这是行业发展面临的主要挑战。
按照基材不同，静电卡盘还可分为聚合物静电卡盘、陶瓷静电卡盘、金属氧化物静电卡盘等类型。陶瓷静电卡盘可细分为氮化铝陶瓷静电卡盘、氧化铝陶瓷静电卡盘等，其采用纳米级直径陶瓷粉末为基材制成，具有体电阻率分布均匀、晶体结构稳定等优势，为静电卡盘代表产品。未来伴随陶瓷静电卡盘应用需求增长，我国静电卡盘行业景气度将进一步提升。
全球静电卡盘主要生产商包括日本NTK公司、日本新光电气公司等。在本土方面，我国静电卡盘主要生产商包括珂玛科技、华卓精科、海拓创新等。珂玛科技推出的12英寸静电卡盘正处于客户验证阶段，未来有望成为我国首家具备大尺寸静电卡盘批量生产能力的企业。
新思界
行业分析人士表示，受益于半导体产业发展速度加快，静电卡盘作为晶圆制成器件，应用需求不断增长。未来伴随我国12英寸晶圆产能持续扩张，大尺寸静电卡盘市场占比有望提升。在市场竞争方面，与海外发达国家相比，我国静电卡盘行业起步较晚，市场参与者较少。未来随着本土企业持续发力，我国静电卡盘行业发展态势将持续向好。
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