大束流离子注入机，指可以处理大电流离子束的离子注入机。大束流离子注入机具备高效传输、污染控制、剂量均匀性精确控制等功能，在晶圆制造领域拥有广阔应用前景。
离子注入机主要包括大束流离子注入机、高能离子注入机以及中束流离子注入机等类型。与高能离子注入机相比，大束流离子注入机具备技术成熟度高、生产成本低等优势。与中束流离子注入机相比，大束流离子注入机具备工作效率高、能量控制精度高、适应性好等优势。经过多年发展，大束流离子注入机技术成熟度不断提升，已逐渐成为离子注入机市场主流产品。未来随着离子注入机行业发展态势持续向好，我国大束流离子注入机将迎来广阔市场前景。
大束流离子注入机是一种半导体制造设备，可用于大尺寸晶圆掺杂工艺、超浅结注入工艺以及表面改性工艺中。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国大尺寸晶圆产能不断扩张。2023年我国12英寸晶圆月均产能达到近380万片。受益于技术进步以及下游行业发展速度加快，我国大束流离子注入机市场空间不断扩展。根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年大束流离子注入机行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，2023年我国大束流离子注入机市场规模达到近45亿元，创造历史新高。
在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国大束流离子注入机高度依赖进口，美国和日本为我国主要进口国。近年来，在国家政策支持以及技术进步等积极因素推动下，我国大束流离子注入机市场国产化进程不断加快。上海万业企业股份有限公司和中国电子科技集团有限公司为我国大束流离子注入机代表企业。2020年，万业企业旗下凯世通自主研发出我国首台低能大束流离子注入机，目前公司已成功获得多家大尺寸晶圆厂采购订单。中电科自主研发并生产的大束流离子注入机，已成功入选由国务院国有资产监督管理委员会发布的《 中央企业科技创新成果产品手册（2022年版）》。
新思界
行业分析人士表示，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国大束流离子注入机应用需求不断增长，行业发展速度有所加快。在行业发展初期，海外企业长期占据我国大束流离子注入机市场主导地位。未来伴随本土企业持续发力，我国国产大束流离子注入机市场占比有望提升。
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