激光干涉仪是以激光波长为测量基准的一种高精度测量。激光头是激光干涉仪的核心部分，其主要由激光器、光电二极管、滑动单元、反射镜等组成，其中激光器用于产生激光束，激光束具有良好的单色性和相干性。
激光干涉仪类型多样，常用类型包括法布里-珀罗干涉仪、迈克尔逊干涉仪、雅各比干涉仪、菲索干涉仪等。激光干涉仪是基于激光的干涉效应进行测量和分析，具有测量精度高、抗干扰能力强、速度快、分辨率高等特点，广泛应用在科学研究、半导体制造、精密测量、光学元件加工等领域。
根据技术特点不同，激光干涉仪分为增量式激光干涉仪、绝对式激光干涉仪，其中增量式激光干涉仪又分为单频激光干涉仪、双频激光干涉仪。单频激光干涉仪的激光器发出单一频率的激光束，双频激光干涉仪的激光器可发出两个频率的激光束。
激光干涉仪所用激光器以HeNe激光器（氦氖激光器）为主，我国HeNe激光器供应商有北京镭测科技有限公司（镭测科技）、江西连胜科技股份有限公司等，其中镭测科技的“可伐-玻璃组装式”结构的HeNe激光器，结束了HeNe激光器靠玻璃吹制的历史。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2028年中国激光干涉仪市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，在纳米制造时代下，激光干涉仪应用空间广阔。预计未来五年，全球激光干涉仪市场将以7.0%以上的年均复合增长率增长，并将于2029年达到4.6亿美元的市场规模。
在全球范围内，欧美地区占据激光干涉仪市场主要份额，尤其是北美地区。整体来看，激光干涉仪企业包括美国ZYGO公司、美国QED Technologies、美国Keysight公司、英国Renishaw plc、德国ZEISS Group、荷兰阿斯麦（ASML）等。
激光干涉仪的自主化研制，对促进我国高端装备国产化、智能化发展具有重要意义。随着技术突破，国内激光干涉仪市场也呈现出百花齐放的态势，相关企业包括镭测科技、苏州慧利仪器有限责任公司、大连科德数控股份有限公司、陕西铉光未来电子科技有限公司、上海拍频光电科技有限公司等。
新思界
行业分析人士表示，激光干涉仪是国家长度计量溯源体系中的标准仪器，在工业母机、光刻机、坐标测量机、位移传感器、水准标尺检定装置、大长度校准装置等精密仪器的直线度、平行度、平整度指标检测中应用广泛。在纳米制造时代下，精密测量需求旺盛，激光干涉仪应用空间广阔。
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