准分子（VUV）光即准分子激光，是由受到电子束激发的惰性气体和卤素气体结合的混合气体形成的分子向其基态跃迁时发射所产生的激光。准分子照射系统是一种利用准分子光照射材料表面或内部的装置。
准分子照射系统具有靶向精准、能量高、波长单一、输出能量集中、可低温处理等特点，在科学研究、半导体制造、医疗、光子器件制造、材料加工等领域应用广泛。在医疗领域，准分子照射系统可用于白癜风、银屑病等皮肤病，及屈光不正、近视、散光等眼科疾病的治疗；在材料加工领域，准分子照射系统可用于塑料、树脂、薄膜、玻璃、板材等材料的表面加工、清洁和改性。
根据发出波长不同，准分子照射系统分为172nm、222nm、308nm及其他准分子照射系统。其中172nm准分子照射系统是市场主流产品，308nm准分子照射系统可诱导T细胞凋亡、促进色素合成，是治疗皮肤病的有效工具。
根据新思界产业研究中心发布的《
2024-2029年准分子照射系统行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，预计2024-2029年，全球准分子照射系统市场将以6.0%以上的年均复合增长率增长，在预期内，亚太地区将保持全球最大的准分子照射系统市场。为提高设备性能、实现更广泛应用，准分子照射系统在技术、材料、光源等方面正进行创新，便携化、小型化、智能化成为其重要发展趋势。
准分子照射系统市场参与者不断增加，包括日本Ushio Inc.公司、滨松电子、日本Gigaphoton公司、荷兰ASML公司、美国Coherent公司等国外企业，以及北京科益虹源光电技术有限公司、中山普宏光电科技有限公司、深圳盛方科技有限公司、广东准分子光电科技有限公司等国内企业。
近年来，随着国内技术突破，我国准分子照射系统实现了迅速发展，本土企业竞争力不断增强，技术实力、产品性能正逐渐得到国际认可，其中科益虹源已成为全球极少数拥有光刻准分子激光技术全链条研发和产业化能力的企业。
新思界
行业分析人士表示，准分子照射系统应用领域广泛，随着皮肤病治疗需求释放、材料加工精细化发展，准分子照射系统市场存在较大发展空间。目前我国已经打破国外技术垄断，实现准分子照射系统自主化生产，为在全球市场占据更多份额，未来我国企业仍需不断加强技术创新和市场拓展力度。
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