氮化铝静电吸盘，指以氮化铝为基材制成的静电吸盘。与碳化硅静电吸盘相比，氮化铝静电吸盘具备断裂韧性佳、抗弯强度高、热传导性能好等优势，为陶瓷静电吸盘主流产品，在晶圆加工、显示面板制造、光学元件加工等领域应用广泛。
氮化铝为氮化铝静电吸盘主要原材料，占据其较大生产成本。氮化铝具备耐腐蚀、硬度高、热稳定性好、化学稳定性佳、电阻率高、带隙宽等诸多优良特性，在通信系统、高温设备、电子电气等领域应用较多。氮化铝制备流程较为复杂，直接氮化法、碳热还原法以及高能球磨法为其主要制备方法。2023年我国氮化铝产量突破1000吨，同比增长超过15%。目前，我国氮化铝供应缺口较大，需求高度依赖进口，这将为氮化铝静电吸盘行业发展带来一定挑战。
按照原材料不同，陶瓷静电吸盘可分为碳化硅静电吸盘、氮化铝静电吸盘、氧化铝静电吸盘以及氮化硅静电吸盘等。近年来，我国陶瓷静电吸盘行业发展态势较好。2023年我国陶瓷静电吸盘市场规模达到近30亿元，同比增长近10%。未来随着陶瓷静电吸盘市场规模增长，氮化铝静电吸盘作为其细分产品，行业景气度将进一步提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年氮化铝静电吸盘行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，晶圆加工领域为氮化铝静电吸盘最大需求端，其可用于固定晶圆、控制加工温度、减少物理损伤。近年来，随着全球半导体产业向我国大陆转移，我国晶圆产能持续扩张。2023年我国12英寸晶圆月均产能达到近400万片，创造历史新高。未来随着技术进步以及应用需求增长，我国晶圆行业发展速度将不断加快，届时氮化铝静电吸盘市场空间有望进一步扩展。
我国氮化铝静电吸盘市场主要参与者包括旭光电子、华卓精科、精瓷新材等。华卓精科已成功开发出12英寸PVD氮化铝静电吸盘，据其公司公告显示，2023年上半年公司静电吸盘业务实现营收143.8万元。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国晶圆产能持续扩张，氮化铝静电吸盘应用需求持续增长，行业发展速度不断加快。与海外发达国家相比，我国氮化铝静电吸盘行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业布局其研发及生产赛道，未来伴随技术进步，我国氮化铝静电吸盘产量及质量有望提升。
