碳化硅聚焦环，又称SiC基聚焦环，指由碳化硅为主要原材料制成的环状部件。碳化硅聚焦环具备减少边缘效应、约束等离子体、耦合射频功率以及热管理等功能，在光电器件、微机电系统以及集成电路领域拥有广阔应用前景。
碳化硅为碳化硅聚焦环主要原材料，占据其较大生产成本。碳化硅是一种高性能非金属材料，具备耐高压、耐高温、耐高频等特性，在电子电气、磨料磨具、化工设备以及耐火材料等领域应用较多。受益于技术进步以及应用需求增长，我国碳化硅产量不断提升，2023年突破10万吨。未来随着高质量碳化硅市场占比提升，我国碳化硅聚焦环行业发展态势将持续向好。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年碳化硅聚焦环行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，碳化硅聚焦环主要应用于薄膜沉积设备中，在光电器件、微机电系统以及集成电路等众多领域拥有广阔应用前景。伴随国家政策支持以及本土企业持续发力，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2023年我国集成电路产量达到3514亿块，同比增长6.9%。碳化硅聚焦环为等离子体刻蚀设备核心组件，在集成电路刻蚀工艺中应用较多。未来伴随市场需求逐渐释放，我国碳化硅聚焦环行业发展空间将进一步扩展。
全球碳化硅聚焦环主要生产商包括韩国东海碳素株式会社（TCK）、韩国KNJ公司、美国PremaTech Advanced Ceramics公司、日本精密陶瓷株式会社（JFC）等。东海碳素为全球较早布局碳化硅聚焦环行业研发及生产赛道的企业，其推出的固体碳化硅聚焦环已在半导体设备中获得广泛应用。
我国碳化硅聚焦环市场主要参与者包括凯乐士、珂玛材料、德智新材、志橙半导体、吉盛微等。吉盛微专注于碳化硅半导体设备零部件和耗材的研发、生产制造，主营产品包括簇射极板、晶圆舟、碳化硅材料以及碳化硅聚焦环等。目前，吉盛微已与多家知名半导体器件制造商达成合作，为其批量供应碳化硅聚焦环。
新思界
行业分析人士表示，受益于我国半导体产业发展速度加快，碳化硅聚焦环作为半导体薄膜沉积设备重要组件，市场需求日益旺盛。与海外发达国家相比，我国碳化硅聚焦环行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业具备其批量生产实力。未来随着本土企业持续发力，我国碳化硅聚焦环市场规模将进一步增长。
