晶圆级磁光克尔测量仪是一种利用磁光克尔效应（MOKE）来检测晶圆膜堆磁性的高精度检测设备。磁光克尔效应是一种光从磁化材料表面反射时发生偏振态变化的物理现象，其是表征和研究磁性材料的重要方法。
晶圆级磁光克尔测量仪分为晶圆级垂直磁光克尔测量仪、晶圆级面内磁光克尔测量仪。根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年晶圆级磁光克尔测量仪行业市场供需现状及行业经营指标深度调查分析报告》显示，晶圆级磁光克尔测量仪属于非接触式测量设备，具有无晶圆破坏、超高克尔检出灵敏度、重复定位精度高等特点，可用于磁性芯片的磁性薄膜检测，以及磁性存储器、磁传感器膜堆的磁滞回线测量中。
磁性芯片又称自旋电子芯片，是芯片的一种，其可用作信息存储模块、磁信号传感模块等，广泛应用在汽车自动驾驶、电子电器、卫星控制系统、飞行器等领域。在磁性芯片生产中，需将纳米磁性薄膜均匀铺在晶圆上，这一环节，磁性薄膜平整度检测至关重要。晶圆级磁光克尔测量仪为磁性芯片高质量生产提供了设备支撑，未来市场发展空间广阔。
长期以来，晶圆级检测设备市场一直由国外企业垄断，尤其是美国科磊半导体，受制于此，我国高端磁性芯片市场严重依赖进口。近年来，在国产替代背景下，我国企业开始进军晶圆级检测设备市场，在晶圆级磁光克尔测量仪市场上，布局单位包括北京航空航天大学、真精密仪器（青岛）有限公司等。
真精密仪器由北京航空航天大学孵化，其于2022年推出了国内首台产业级晶圆磁光克尔测量仪，其检测速度和精度均优于国际水平，打破了美国企业在该领域的垄断。此外致真精密仪器还研制了磁光克尔显微镜、磁滞回线测量仪、晶圆级磁场探针台、晶圆级磁性测量仪、超高真空高精度磁控溅射仪等多款高科技产品，相关产品已在清华大学、中国科学院物理所等多家科研单位装机使用。
新思界
行业分析人士表示，晶圆级磁光克尔测量仪可用于磁性芯片的磁性薄膜检测中，目前全球磁性芯片市场空间在28亿美元/元左右，三星、英特尔、格罗方德、昆泰芯微电子、矽睿科技、顺络电子等国内外企业在该领域均有布局，随着磁性芯片生产规模扩大，晶圆级磁光克尔测量仪市场发展空间将扩宽。
