碳化硅悬臂桨是基于碳化硅材料的悬臂桨。悬臂桨是一种用于将承载硅片的舟托移入和移出加热炉的关键装载部件。
碳化硅（SiC）是一种无机化合物半导体材料，由硅（Si）和碳（C）元素以1：1的比例构成。碳化硅具有高温强度大、耐磨损性能好、热稳定性好、热导率大、硬度高等特点，在汽车、信息电子、能源、机械化工、环境保护、空间望远镜等领域应用越来越广泛。
反应烧结碳化硅（RBSC）又称为结合碳化硅，具有烧结温度低、生产成本低、致密化程度高等特点，特别适合悬臂桨、舟托、小舟、炉管等大尺寸复杂形状结构件的制备。基于反应烧结碳化硅的悬臂桨具有强度高、耐腐蚀、晶圆装载量大、抗热震稳定性好、高温环境使用不变形等特点。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年碳化硅悬臂桨行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，碳化硅悬臂桨是晶圆装载系统的关键部件，适用于机器人自动装载和搬运系统，目前已在半导体、光伏等领域得到广泛应用。在光伏领域，碳化硅悬臂桨承担着TOPcon电池等光伏电池的低压化学气相沉积（LPCVD）、等离子化学气相沉积（PECVD）、扩散等热制程环节中硅片的承载、输送工作。
近年来，随着技术突破、需求释放，我国碳化硅悬臂桨生产企业不断增加，包括山东华美新材料科技股份有限公司、江苏三责新材料科技股份有限公司、湖北朗驰新型材料有限公司、福赛特（唐山）新材料有限公司、潍坊中加碳化硅科技有限公司、山东鑫泓新材料有限公司等，市场竞争将日益加剧。
JB/T 13946-2020《碳化硅特种制品 反应烧结碳化硅 悬臂桨》为碳化硅悬臂桨行业现行标准，适用于工作温度不高于1350℃的反应烧结碳化硅悬臂桨，其实施为碳化硅悬臂桨研发、生产及应用提供了技术支撑。
近年来，我国在碳化硅悬臂桨领域也取得了多项技术专利，如《一种碳化硅悬臂桨的制作方法》、《一种反应烧结碳化硅多孔悬臂桨》、《一种碳化硅悬臂桨热检装置》等，这为碳化硅悬臂桨高质量发展奠定了基础。
新思界
行业分析人士表示，近年来，我国光伏行业实现从“跟跑”到“领跑”的跨越式发展，根据国家能源局数据显示，截止至2024年11月底，全国累计太阳能发电装机容量约8.2亿千瓦，同比增长46.7%，2024年1-11月，太阳能发电装机新增容量206.3GW。随着光伏产业快速扩展，碳化硅悬臂桨市场空间将持续扩大。
