离子减薄仪是一种材料样品制备仪器，主要用于将材料样品减薄到适合透射电子显微镜（TEM）观察的厚度，也常用于试样表面损伤层、非晶层的去除和清洁。
离子减薄仪通常由显微镜、CCD摄像头/数码相机、真空泵、离子枪、样品仓等组成，工作原理是利用高能离子束（多为氩Ar离子束）轰击材料表面，当轰击传递能量超过材料表面原子或分子间的键合力时，材料表面原子或分子会被溅射出来，从而实现减薄或抛光。
离子减薄法是TEM样品制作的常见减薄技术，与电解双喷减薄法（电化学腐蚀法）相比，其普适性更广。基于离子减薄法的离子减薄仪可用于半导体、金属、合金、陶瓷、薄膜、涂镀层、颗粒、地质、多相等多种材料的减薄，具有操作便捷、制样速度较快、制样质量高等特点。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年中国离子减薄仪行业市场深度调研与发展趋势预测研究报告》显示，离子减薄仪是透射电子显微镜（TEM）刚需配套仪器，近年来，随着我国科研水平提升、实验室建设速度加快，TEM应用日益广泛，进而带动离子减薄仪市场需求释放。同时在国家宏观政策支持下，大规模设备更新工作持续推进，离子减薄仪市场将迎来一波确切且持续性的发展。
我国离子减薄仪研制起步晚于欧美国家，早期离子减薄仪市场被国外品牌高度垄断，我国需求长期依赖进口。在国际市场上，离子减薄仪品牌主要包括美国FISCHIONE公司、美国GATAN公司（被AMETEK收购）、德国徕卡显微系统、日本电子（JEOL）、日本日立、匈牙利Technoorg Linda等。
离子减薄仪自主化发展对国家科研水平提升具有重要意义，上世纪八十年代，我国也展开了离子减薄仪的研制及应用研究，其中冶金部钢铁研究总院研制的GL-69型离子减薄仪于1982年通过部级技术鉴定。北京艾博智业离子技术有限公司在离子减薄仪领域已有二十多年开发和研制历史，离子减薄仪产品包括AL系列、GL系列等。
新思界
行业分析人士表示，离子减薄仪主要用于材料样品减薄，是TEM刚需配套仪器，随着大规模设备更新工作推进、材料科学研究深入，离子减薄仪市场空间将不断扩大。我国已实现离子减薄仪国产化生产，但目前国外企业仍在我国市场上占据着重要地位，尤其是高端领域，离子减薄仪尚有一定国产替代空间。
