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X射线反射镜制造精度不断提升 原子级精度是其下一个发展目标

2025-01-20 17:46      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
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X射线反射镜制造精度不断提升 原子级精度是其下一个发展目标

  X射线反射镜是一种能反射和聚焦短波长X射线(束)的反射光学元件。X射线是一种波长极短的电磁辐射形式,范围在0.01-10nm之间。

  X射线具有高穿透性、荧光效应、高频率、高能量等特点,在物理学、核工业、农业、医学等领域具有广泛应用。根据新思界产业研究中心发布的《2025-2029年X射线反射镜行业市场供需现状及行业经营指标深度调查分析报告》显示,X射线反射镜可用于改变X射线的传播方向,可应用在X射线望远镜、极紫外(EVU)光刻、高次谐波、X射线激光器、X射线自由电子激光装置(XFEL装置)、同步辐射等中。

  X射线反射镜作为同步辐射核心部件,具有准直、聚焦、偏转X射线等重要作用,影响着同步辐射光源的分辨率、光斑尺寸、通量等性能。同步辐射光源用X射线反射镜要求极高、制备难度大,目前仅有欧美日等国家的几家企业具有其商业化生产能力,我国市场需求依赖进口。

  X射线反射镜可选择硅、玻璃碳、石英玻璃等为材料。在实际应用中,X射线反射镜的聚焦、准直等性能随着高度误差变大而降低,因此纳米聚焦、超高分辨率领域对X射线反射镜面形精度极高。近年来,随着EEM抛光技术、离子束加工技术等技术的应用,X射线反射镜制造精度、准确度在不断提升。

  为满足下一代X射线望远镜、第五代同步辐射光源等前沿应用需求,市场对X射线反射镜制造精度将持续提升,原子级精度X射线反射镜制造将成为未来发展趋势。

  2025年1月,工信部发布《关于组织开展2025年未来产业创新任务揭榜挂帅工作的通知》,原子级精度X射线反射镜被列入原子级制造领域重点产品之一,揭榜任务包括突破X射线反射镜原子级精度加工关键技术、研发以等离子体加工和弹性发射加工为核心技术的原子级精度X射线反射镜加工工艺等,预期到2026年,完成400mm尺寸X射线反射镜加工装备的研制,自主加工的X射线反射镜在同步辐射、自由电子激光装置上得到应用。

  制造精度提高也将带动X射线反射镜测量技术升级,目前X射线反射镜测量方法主要分为拼接干涉测量技术、反射式轮廓测量技术等。新思界行业分析人士表示,X射线反射镜具有准直、聚焦、偏转X射线等作用,在各种X射线分析仪器中应用广泛。随着应用需求升级,X射线反射镜制造精度在不断提升,原子级精度是其下一个发展目标。

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