聚焦离子束电子束双束显微镜又称聚焦离子束双束电子显微镜，是一种同时具有聚焦离子束（FIB）、扫描电子显微镜（SEM）功能的高科技分析仪器。
聚焦离子束电子束双束显微镜是在扫描电子显微镜基础上加装聚焦离子束系统，并附带纳米机械臂、气体注入系统、可控样品台等附件。在工作时，聚焦离子束对各类材料进行纳微米级尺度的加工、修改、成型、成像，电子束进行材料微观形貌、晶体取向、三维结构、元素含量等的分析测试。
聚焦离子束电子束双束显微镜实现了微区成像、加工、分析及操纵的一体化，在材料科学、生命科学、能源催化、半导体制造、生物医药、地质学等领域应用广泛。在半导体制造中，聚焦离子束电子束双束显微镜可用于集成电路的缺陷诊断、离子注入、掩膜版修理、原位加工、刻蚀等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年中国聚焦离子束电子束双束显微镜市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，近年来，随着科学研究热情提升、科学仪器更新需求释放，聚焦离子束电子束双束显微镜采购需求有所提升，浙江大学、西南交通大学、吉林大学等院校均有发布相关采购需求。
作为先进仪器，聚焦离子束电子束双束显微镜技术壁垒较高，在国际市场上，其供应商包括德国卡尔·蔡司（Zeiss）、美国赛默飞世尔科技（ThermoFisher）、法国ORSAY PHYSICS公司、日本电子株式会社等。国外企业起步早、技术先进，在聚焦离子束电子束双束显微镜领域的竞争力较强。
国仪量子技术（合肥）股份有限公司（国仪量子）自主研制的电镜新品-聚焦离子束电子束双束显微镜DB500于2023年发布，该电镜拥有自主可控的场发射电子镜筒（保证纳米分析能力）、“承影”离子镜筒（提供离子束流，保证纳米加工能力）。目前国仪量子的聚焦离子束电子束双束显微镜DB500已入选《2024年合肥市首台套重大技术装备名单》。
新思界
行业分析人士表示，聚焦离子束电子束双束显微镜应用需求广泛，但长期以来，受核心技术限制，我国聚焦离子束电子束双束显微镜市场由国外企业占据重要份额。近年来，在“十四五”国家重点研发计划支持下，我国逐渐实现了聚焦离子束电子束双束显微镜国产化生产，凭借服务响应快、性价比高等优势，国产仪器有望实现更广泛推广应用。
