激光调阻机又称激光修阻机,是利用激光工艺对薄膜或厚膜电阻进行刻蚀,实现电信号精密调节的设备。
激光调阻是一种先进的电阻值精校技术,通过使用激光束照射在片式电阻上,去除部分电阻材料改变其阻值,进而来实现电阻值的精确控制。调阻环节是金属合金电阻产能瓶颈的重要环节之一,精度在±1%以内的金属合金电阻均需要调阻。相比于机械调阻,激光调阻的调阻效率更高,已成为目前金属合金电阻主流调阻工艺。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年激光调阻机行业市场供需现状及行业经营指标深度调查分析报告》显示,激光调阻机具有调阻精度高、调阻速度快、功能强大、可靠性高等特点,主要用于厚、薄膜电路的精密调节,在MEMS、集成电路、传感器、通信、医学、军工科研等领域应用广泛。
根据激光调阻对象不同,激光调阻机主要分为厚膜激光调阻机、薄膜激光调阻机、超低阻激光调阻机等。厚膜激光调阻机的制造精度较低,主要用于调整基于厚膜制程制造的片式电阻;薄膜激光调阻机适用于调整较为精细的片式电阻;超低阻激光调阻机主要用于调整极低电阻值的合金片式电阻。
在国际市场上,激光调阻机供应商包括美国GSI、美国ESI、日本NEC等。我国激光调阻机研制起步较晚,国内首台全自动激光调阻机样机于2002年设计出。近十几年来,国产激光调阻机凭借价格便宜、方便维护、易于定制、政策利好等优势,在国内市场的占比稳步提升,
目前我国激光调阻机生产企业包括深圳杰普特光电股份有限公司(杰普特)、长春光华微电子设备工程中心有限公司(由长光所机电工程研究部转制而成)、北京锋速精密科技有限公司等。
杰普特是第八批国家级制造业单项冠军企业之一,单项冠军产品为激光修阻机。杰普特的激光修阻机可以兼容同类型的厚膜电阻、薄膜电阻、超低/高阻值电阻,自2015年以来,其激光修阻机系列产品陆续服务于风华高科、国巨股份、厚声电子等厂家。
新思界
行业分析人士表示,激光调阻机是生产片式电阻、厚膜电阻不可或缺高技术设备,我国是片式电阻生产大国,激光调阻机市场需求空间大。早期激光调阻机市场主要由日美企业占据,后随着国内技术突破,国产激光调阻机开始抢占进口设备市场,目前我国激光调阻机国产化率已达到较高水平。