等离子体发生器，指能够将气体转化为等离子体状态的装置。等离子体发生器具备参数控制精度高、能量转换效率高、维护成本低、绿色环保等优势，在环境保护、能源电力、科学研究以及半导体制造等众多领域有所应用。
近年来，随着研究不断深入，我国等离子体发生器相关专利数量有所增加，主要包括《一种低温等离子体发生器》、《一种级联式等离子体发生器》、《一种调频匹配射频等离子体发生器》、《一种非热电弧等离子体发生器》、《一种基于变压器耦合的射频等离子体发生器》、《一种基于DBD技术的高效等离子体发生器》等。在此背景下，我国等离子体发生器行业发展速度有望加快。
等离子体发生器用途广泛，包括环境保护、能源电力、科学研究以及半导体制造等。在环境保护领域，等离子体发生器可利用高能粒子分解污染物，适用于废水净化、工业废气处理以及固废处理等场景；在能源电力领域，其可用于发电厂点火系统中；在科学研究领域，其可用于物理及化学实验场景；在半导体制造领域，其可用于半导体器件表面处理环节。
根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2030年等离子体发生器行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，在应用需求拉动下，等离子体发生器市场空间不断扩展。2024年全球等离子体发生器市场规模达到近50亿美元，同比增长近10%。未来随着技术进步以及应用范围不断扩展，等离子体发生器行业发展态势将持续向好。预计到2030年，全球等离子体发生器市场规模将超过80亿美元。
全球等离子体发生器市场主要参与者包括德国霍廷格电子公司（TRUMPF Huettinger）、日本基恩士公司（KEYENCE）等。在本土方面，我国等离子体发生器主要生产企业包括龙源技术、京仪装备、西安赛隆、西安航科等。京仪装备推出的等离子体发生器已在半导体制造领域获得应用。
新思界
行业分析人士表示，等离子体发生器作为一种高性能能量转换装置，在众多领域拥有广阔应用前景。未来随着下游行业发展速度加快，等离子体发生器市场空间将得到进一步扩展。我国等离子体发生器生产企业众多，但技术水平及产品质量与海外发达国家相比仍存在一定差距。未来随着本土企业持续发力以及技术进步，我国高品质等离子体发生器市场占比有望提升。
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