短波紫外激光器（UVC）通常是指波长介于200-280nm的紫外激光器，已报道的短波紫外激光器波长有213nm、216nm、236nm、244nm、257nm、266nm等。紫外激光器是一种产生紫外光束的激光器，主要分为固体紫外激光器、气体紫外激光器和半导体紫外激光器。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年短波紫外激光器（UVC）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，短波紫外激光器具有波段短、聚焦性能好、光子能量高、衍射效应小、分辨能力强、热效应小等优点，在微电子、微机械、光存储、紫外拉曼、光谱分析、大气探测、生物医学、光致发光、精密加工、半导体检测、航空航天等领域具有重要应用价值。
在紫外拉曼领域，在短波紫外激光器激发下的拉曼信号和荧光信号不会受到干扰，解决了拉曼光谱长期存在的荧光干扰问题。紫外拉曼光谱具有抗荧光干扰、高灵敏度等特性，极大地扩宽了拉曼光谱在生物、材料、物理、化学等领域的应用。
非线性晶体是短波紫外激光器的核心部件，其性能直接影响着短波紫外激光器的输出功率的和光束质量。目前已有多种短波紫外非线性晶体研制出来并投入使用，包括BBO晶体、CLBO（硼酸锂铯）晶体等，其中CLBO晶体具有光谱范围宽、转换效率高、损伤阈值高、温度容差大等优势，是短波紫外激光器主流非线性晶体。
CLBO晶体属于四方晶系，具有特殊的晶体结构，极易潮解开裂，产业化难度大。目前CLBO晶体供应商包括立陶宛EKSMA Optics公司、日本Oxide公司、福晶科技、悦能光电等，其中福晶科技是全球最大的非线性晶体供应商，CLBO晶体已进入中科院及上海光机所。
目前国内紫外激光器布局企业主要集中在华中、华北和华南等地区，包括英诺激光、公大激光、华日激光、格雷激光、英谷激光、奥创光子等。紫外激光器技术发展较成熟，市场竞争激烈，近年来，为扩大竞争力，国内多家企业都加入到短波紫外激光器的研发中。
新思界
行业分析人士表示，近年来，我国在短波紫外激光器技术创新、市场拓展、国产替代等方面也取得了显著进展。短波紫外激光器具有多种独特优势，随着新型增益晶体、倍频晶体应用，以及晶体加工技术水平提升，短波紫外激光器输出波长越来越短、输出功率越来越高，应用潜力将不断释放。
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