物理气相沉积设备，简称PVD设备，指采用物理方法，在真空条件下将材料源表面气化成气态原子或分子，最后在基材表面沉积薄膜的设备。PVD设备具备绿色环保、材料兼容性强、沉积精度高、沉积速率高以及自动化程度高等优势，半导体制造、显示面板、航空航天以及精密零部件等领域为其终端市场。
PVD设备通常由电源与控制系统、蒸发源系统、溅射靶材（源）系统、真空室系统、基片支架与传动系统、真空获得与维持系统组成。真空室系统能够有效避免杂质对于沉积层产生影响、控制沉积速率、保持沉积层均匀性，为PVD设备重要组件。近年来，随着技术进步，我国PVD设备组件市场国产化进程不断加快，这将为PVD设备行业发展提供有利条件。
薄膜沉积设备主要包括三种类型，分别为PVD设备、CVD设备以及ALD设备。与其他薄膜沉积设备相比，PVD设备具备快速成膜、控制精度高、可满足热敏材料沉积需求等优势，应用范围较广。近年来，随着薄膜沉积设备市场占比提升，PVD设备行业发展态势持续向好。根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国物理气相沉积设备（PVD设备）市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，2024年全球PVD设备市场规模达到近40亿美元。
PVD设备在众多领域需求旺盛，主要包括半导体制造、显示面板、航空航天以及精密零部件等。在半导体制造领域，PVD设备可用于晶圆金属化工艺中。近年来，随着技术进步以及应用需求增长，我国大尺寸晶圆产能持续扩张。2024年我国12英寸晶圆月产能同比增长超过20%。在此背景下，我国PVD设备行业发展速度有望加快。
全球PVD设备主要生产企业包括美国应用材料公司（Applied Materials）、美国泛林集团（LAM）、日本真空技术株式会社（ULVAC）、日本东京电子有限公司（TEL）等。在本土方面，我国PVD设备市场主要参与者包括北方华创、东威科技、汇成真空等。北方华创为我国薄膜沉积设备代表企业，其PVD设备销量位居我国行业领先。
新思界
行业分析人士表示，受益于薄膜沉积设备行业发展速度加快，PVD设备作为其细分产品，市场空间不断扩展。目前，PVD设备已在众多领域获得广泛应用，未来随着市场需求日益旺盛，其行业景气度将得到进一步提升。在市场竞争方面，我国PVD设备行业集中度较高，北方华创占据市场较大份额。
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