真空计，又称真空表，是测量真空度或气压的仪器，根据原理不同分为电容薄膜真空计、波尔登真空计、冷阴极离子真空计、皮拉尼型真空计、热电偶真空计等。电容薄膜真空计，是利用隔膜在气体分子作用下发生变形而测量压强的真空计。
电容薄膜真空计具有测量精密度高、响应速度快、高稳定性、再现性与重复性好等特点，在半导体、光伏、航空航天等领域广泛应用。在半导体领域，电容薄膜真空计主要应用于刻蚀、薄膜沉积等工艺环节；在光伏领域，电容薄膜真空计主要用于光伏电池生产环节；在航空航天领域，电容薄膜真空计可应用于航天器、火箭等的真空测试和模拟环境环节。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国电容薄膜真空计市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，随着技术进步、下游行业持续发展，电容薄膜真空计市场规模稳步扩大。预计2031年全球电容薄膜真空计市场规模将达到24亿元，预测期间内（2025-2031年）其市场年复合增长率（CAGR）将为2.8%。
国外电容薄膜真空计生产企业包括Granville-Phillips、MKS（MKS Instruments）、英福康（INFICON）、Canon ANELVA等。我国参与电容薄膜真空计研究、生产的机构和企业包括航天科技集团五院510所、上海振太仪表有限公司、浙江科蕴电子科技有限公司、深圳市万德泉科技有限公司、季华实验室、佛仪科技（佛山）有限公司、上海梅科伍德电子科技有限公司等。
上海振太仪表有限公司是除MKS与Inficon外，少数具备核心技术与自主知识产权，拥有完整电容薄膜真空计生产线的企业。2024年，上海梅科伍德电子科技有限公司研发的“电容薄膜真空计10 Torr”项目，荣获第五届上海真空科技进步奖获奖二等奖。
近年来，我国发布多项电容薄膜真空计相关标准，有利于该行业高品质发展，如国家标准《真空技术 真空计 电容薄膜真空计的规范、校准和测量不确定度（GB/T 43916-2024）》、团体标准《半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范（T/GVS 005—2022）》《电容薄膜真空计（T/CEPEA 0201—2023）》等。
新思界
行业分析人士表示，电容薄膜真空计是真空计行业主要细分产品之一，在半导体、光伏、航空航天等领域广泛应用。在下游行业持续增长、企业不断取得技术突破利好下，我国电容薄膜真空计行业发展空间较大，并且高端化发展进程有望加快。
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