激光跟踪仪，是一种高精度、大尺寸三维坐标测量仪器，属于光学测量设备类别，集合了激光干涉测距技术、激光绝对测距技术、精密机械技术等多种先进技术。六自由度激光跟踪仪是激光跟踪仪行业升级产品，具有测量范围大、测量精度高、易于现场部署和操作等优点，在航空航天、新能源、机器人、军工、汽车、船舶等领域广泛应用。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年全球及中国六自由度激光跟踪仪行业研究及十五五规划分析报告》显示，在航空航天领域，六自由度激光跟踪仪可用于飞机外形尺寸检测、飞机型架和工装定位安装等环节；在汽车领域，六自由度激光跟踪仪可用于汽车生产线检测、汽车外形测量等；在新能源领域，六自由度激光跟踪仪可用于涡轮机转子测量、风电叶片外形尺寸测量等；在船舶领域，六自由度激光跟踪仪可用于重要部件安装检测、船舶外形尺寸检测等。
六自由度激光跟踪仪行业技术壁垒极高，其中海克斯康、FARO等是主要国外生产商。随着国家大力支持测量仪器行业自主化发展、高端领域对姿态测量传感与测量系统需求不断增长，我国有相关企业和机构对六自由度激光跟踪仪展开大量研究，包括深圳市中图仪器股份有限公司、中国科学院微电子研究所、海宁集成电路与先进制造研究院等。
2021年，中国科学院微电子研究所和海宁集成电路与先进制造研究院组建的研发团队成功研制出国内第一台六自由度激光跟踪仪样机，并通过技术指标测试；2023年，深圳市中图仪器股份有限公司牵头的国家重点研发计划——“六自由度激光自动精准跟踪测量关键技术”项目通过验收，并且该公司旗下的六自由度激光跟踪仪产品已在航空航天、机械制造等领域得到应用；2025年，中国科学院微电子研究所等单位共同研发的“六自由度激光跟踪仪研制及应用”，荣获2025年中国仪器仪表学会科学进步一等奖。
新思界
行业分析人士表示，六自由度激光跟踪仪是进行大尺寸工业测量、科学测量的重要手段，应用前景广阔。受行业起步晚、技术壁垒高影响，我国六自由度激光跟踪仪市场长期由国外企业垄断。随着研发力度加大，我国已有企业实现六自由度激光跟踪仪产业化，并且产品精度、质量等方面有显著提高，受此带动，我国六自由度激光跟踪仪国产替代进程将加快。
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