白光干涉仪，又称光学轮廓仪或光学3D表面轮廓仪，是利用白光干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器，由干涉物镜、成像系统、图像采集系统、垂直扫描系统等部分组成。
白光干涉仪具有测量速度快、非接触式测量、测量精度高、垂直测量范围大等特点，在半导体、光学加工、生物医学、航空航天等领域广泛应用。在半导体领域，白光干涉仪可用于测量芯片薄膜厚度、台阶高度等参数，有助于保障芯片性能和可靠性；在光学加工领域，白光干涉仪可用于测量光学元件的表面粗糙度、面形精度等参数，有助于优化光学加工工艺，提高光学元件质量；在生物医学领域，白光干涉仪可用于生物组织结构、细胞成像等测量。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年全球及中国白光干涉仪行业研究及十五五规划分析报告》显示，随着技术进步、半导体等下游行业快速发展，白光干涉仪作为重要光学仪器，市场得到持续发展。2024年全球白光干涉仪市场规模约为17亿元，预计2025-2031年期间其市场将继续以4.4%年复合增长率增长。
国外白光干涉仪生产企业包括Bruker、ZYGO、Sensofar、Micro-Epsilon等。国外企业凭借成熟技术长期占据我国高端白光干涉仪市场，随着相关企业和机构研发力度加大，我国白光干涉仪行业技术水平不断提升。
我国白光干涉仪相关研发、生产单位包括深圳市中图仪器股份有限公司、新启航半导体有限公司、南京英特飞光电技术有限公司、板石智能科技（深圳）有限公司、淮阴师范学院、重庆孚纳科技有限公司等。深圳市中图仪器股份有限公司SuperView系列白光干涉仪具有大范围扫描、快速自动化调平等优点，在我国晶圆检测领域市场占有率领先。
淮阴师范学院团队研发的《创“智”检，强国“芯”——尖端光学智能检测系统》项目，荣获第十三届“挑战杯”中国大学生创业计划竞赛金奖，其涉及的“白光干涉仪”，具有漏检率低、检测效率高等优点，解决了国内半导体检测设备漏检率高的现状。
新思界
行业分析人士表示，白光干涉仪应用领域广泛，包括半导体、光学加工、生物医学、航空航天、材料科学、新能源等。在国家政策大力支持核心设备国产化、企业和科研机构技术不断取得突破利好下，我国白光干涉仪行业朝着高端化方向持续发展，并且国产化进程加速。
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