磁悬浮无轴承泵，是以磁悬浮无轴承电机为底层技术的新型流体输送设备，具有无摩擦、耐腐蚀、超洁净、流量精确平稳、使用寿命长、免维护等特点。
磁悬浮无轴承电机也称为无轴承薄片电机，是一种融合磁悬浮技术与电机驱动技术的新型电机，即通过磁场力实现转子的无接触悬浮支撑和旋转驱动，无需传统机械轴承，从而有效解决摩擦产生的颗粒杂质以及轴承润滑剂带来污染的问题。磁悬浮无轴承电机是磁悬浮无轴承泵实现无摩擦、超洁净的重要组成装置。
磁悬浮无轴承泵在半导体、制药、光伏等领域应用价值大。在半导体领域，磁悬浮无轴承泵可用于湿法清洗、晶圆表面处理、CMP（化学机械抛光）等环节；在制药领域，磁悬浮无轴承泵可用于灌注培养、深层过滤、切向流过滤（TFF）等环节；在光伏领域，磁悬浮无轴承泵可用于太阳能电池湿法刻蚀环节。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年全球及中国磁悬浮无轴承泵行业研究及十五五规划分析报告》显示，随着半导体、制药等下游行业对相关工艺设备洁净度、精度等性能要求提升，磁悬浮无轴承泵市场发展前景广阔。在细分市场方面，2024年全球制药用磁悬浮无轴承泵市场规模约为1.3亿元，预计2025-2031年期间其市场将以14.8%年复合增长率（CAGR）增长。
全球磁悬浮无轴承泵市场生产企业包括Levitronix、槃实科技（深圳）有限公司、盛奕半导体科技（无锡）有限公司、苏州苏磁智能科技有限公司等。槃实科技（深圳）有限公司是我国具备磁悬浮无轴承泵量产实力的领先企业，其自主研发的PT-BPS系列磁悬浮无轴承泵产品（微电子领域），具有无脉动、超洁净、体积小、流量自动维持等多种优点，可广泛应用于湿法清洗、湿法刻蚀等关键工艺环节，目前已为国内多家头部半导体设备企业批量供货。
新思界
行业分析人士表示，磁悬浮无轴承泵具有多种优点，在半导体、制药、光伏、精细化工等领域应用前景广阔。受磁悬浮技术限制，磁悬浮无轴承泵行业进入壁垒高，我国行业长期依赖进口。槃实科技是我国磁悬浮无轴承泵市场领先生产企业，旗下产品可实现进口替代，并且产品核心部件全部自研自产，有效保障产业链安全。在头部企业不断加强技术创新力度下，我国磁悬浮无轴承泵国产化进程加速。
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