半导体真空泵，指通过抽取气体使密闭腔体达到特定真空度的设备。与传统工业真空泵相比，半导体真空泵具备耐腐蚀、洁净度高、抽气效率高、运行稳定性好等特点，在等离子体蚀刻、薄膜沉积、离子注入等半导体制造环节应用较多。
干式真空泵为半导体真空泵市场主流产品，可细分为涡旋式真空泵、罗茨式真空泵、爪式真空泵以及螺杆式真空泵等。干式真空泵具备维护成本低、运行稳定高效、无油污染等特点，可用于抽除有毒气体以及粉尘颗粒物。经过多年发展，我国干式真空泵技术不断进步，已有多家企业具备其规模化生产实力。未来随着干式真空泵市场空间不断扩展，我国半导体真空泵行业景气度将进一步提升。
半导体制造领域为半导体真空泵主要需求端。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国晶圆产能持续扩张。2024年我国晶圆月均产能达到近900万片，同比增长超过10%。半导体真空泵可用于晶圆加工的薄膜沉积、离子注入等环节。根据新思界产业研究中心发布的《
2025年中国半导体真空泵市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，在应用需求带动下，我国半导体真空泵市场规模持续增长，2024年达到近100亿元。
在行业发展初期，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，全球半导体真空泵市场被欧美以及日本占据主导。瑞典阿特拉斯·科普柯集团（Atlas）、德国普发集团（PFEIFFER VACUUM）、日本岛津制作所（Shimadzu）、日本株式会社大阪真空机器制作所（Osaka Vacuum）等为全球知名半导体真空泵生产商。瑞典Atlas于2016年收购了德国莱宝（Leybold）和英国爱德华（Edwards），已成为全球最大半导体真空泵供应商。
近年来，随着本土企业企业持续发力，我国半导体真空泵市场国产化进程不断加快。汉钟精机、东亚机械、光德星锐科技、中科科仪等为我国半导体真空泵主要生产商。汉钟精机已推出PMF系列、PDM系列以及iPH系列半导体真空泵，产品在晶圆加工环节获得广泛应用。据汉钟精机企业半年报显示，2025年上半年公司真空产品实现营收2.8亿元。
新思界
行业分析人士表示，半导体真空泵作为半导体加工设备，应用需求旺盛，行业发展态势持续向好。在细分产品方面，干式真空泵综合性能优良，占据半导体真空泵市场较大份额。目前，我国已有多家企业具备半导体真空泵自主研发及规模化生产实力，未来其行业发展速度有望加快。
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