干式真空泵是一种无需油润滑的机械真空设备，根据工作原理不同，分为罗茨真空泵、螺杆式真空泵、爪式真空泵，其中罗茨真空泵根据级数不同分为单级罗茨干式真空泵和多级罗茨干式真空泵。
多级罗茨干式真空泵级数为3至6级，结构型式为多级罗茨转子串联在一对真空泵上做反向同步旋转运动，转子与泵腔间有细小间隙而互不接触。多级罗茨干式真空泵通过多级串联的形式使气体被逐级压缩，最后排出。
多级罗茨干式真空泵具有效率高、耐腐蚀、能耗低、抽速范围宽、抽气腔内无油污水等特点，在半导体、石油化工、食品加工、制药等领域广泛应用。在半导体领域，多级罗茨干式真空泵能够有效维持高度清洁和真空的环境，可应用于薄膜沉积、光刻、蚀刻等环节；在制药领域，多级罗茨干式真空泵能够提供无菌和纯净的生产环境，为维护药物生产过程不受外界污染提供支持；在食品加工领域，多级罗茨干式真空泵可用于食品脱水、冷冻干燥等环节。
近年来，我国出台多项相关标准，推动多级罗茨干式真空泵行业高质量发展，包括行业标准《真空技术 多级罗茨干式真空泵（JB/T 11237-2011）》、团体标准《半导体用多级罗茨干式真空泵（T/STIC 110096—2024）》《多级罗茨干式真空泵（T/ZZB 3749—2024）》等。
根据新思界产业研究中心发布的
《中国多级罗茨干式真空泵产业发展及“十五五规划”建议报告》显示，2024年全球罗茨真空泵市场规模约为23亿元，预计2025-2030年期间其市场将继续以4.3%年复合增长率（CAGR）增长。在此背景下，多级罗茨干式真空泵作为罗茨真空泵行业细分产品，全球市场也将有所增长。
我国多级罗茨干式真空泵市场生产企业包括浙江博亚精密机械有限公司、费莱（浙江）科技有限公司、浙江莱斯特真空装备有限公司等。浙江博亚精密机械有限公司是国内领先的提供真空系统优质解决方案企业，专注研发生产高端多级罗茨泵、螺杆真空泵，其中研发的“多级罗茨真空泵”入选《2024年第一批“浙江制造”标准清单》。
新思界
行业分析人士表示，多级罗茨干式真空泵性能优良，应用领域广泛。随着企业生产技术逐渐进步，多级罗茨干式真空泵综合性能不断提升，市场发展空间持续拓展。随着领先企业持续进行产品创新，我国多级罗茨干式真空泵行业高端化发展进程加快，全球市场竞争力也将增强。
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