气体质量流量控制器（MFC），是一种用于精确测量和控制气体质量流量的仪器设备，主要产品类型包括热式毛细管型、热式MEMS型、差压式、科氏力式等。
气体质量流量控制器发挥着气体流向控制、气体过滤、流量控制、压力调节等功能，可用于水厂氯气控制、医用气体混合与监测、为半导体薄膜沉积工艺（CVD、PVD等）提供精确气体配比支持等，在半导体、新能源、食品工业、生物医药、环境监测、石油化工等领域广泛应用。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国气体质量流量控制器行业研究及十五五规划分析报告》显示，气体质量流量控制器具有快速响应、输出精度高、多气体兼容性等性能，行业发展前景可观。2025年全球气体质量流量控制器市场规模约为94亿元，预计未来全球市场将保持平稳趋势增长，2031年市场规模将达到123亿元。
近年来我国已出台多项相关标准，以促进气体质量流量控制器行业规范开发、生产和应用，包括行业标准《气体质量流量控制器通用技术条件（SJ/T 10583-2016）》、国家标准《气体分析 动态法制备校准用混合气体 第7部分：热式质量流量控制器（GB/T 5275.7-2025）》（2026年5月1日起实施）、企业标准《气体质量流量控制器（Q31/0114000185C007）》等。
国外企业技术水平先进、品牌知名度高，在全球高端气体质量流量控制器市场占据主导地位，包括美国派克Parker、日本HORIBA、日本阿自倍尔azbil、美国林肯MKS、荷兰Bronkhorst等。我国气体质量流量控制器市场生产企业包括北京精量科技、博思飞尔、无锡爱拓利电子科技、北京七星华创、青岛芯笙、天武测控、辽宁冠华等。
2025年，广州奥松电子研发的“新一代气体质量流量控制器的研发及产业化”通过科技成果评价，整体技术达到国际先进水平。2025年，辽宁冠华研发的全新一代“超快速质量流量控制器P24S”上市，该产品精度可达±0.05%F.S.，重复性可达±0.02% F.S.，并且响应速度超快（为＜50ms），适用于半导体高端工艺制程。
新思界
行业分析人士表示，气体质量流量控制器是一种稳流装置，下游应用领域极为广泛。随着技术进步、半导体等下游行业不断发展，气体质量流量控制器市场需求将持续释放。经过近年来发展，我国气体质量流量控制器行业已取得显著进展，但高端市场仍由国外企业垄断。在传感器技术、精密加工等方面取得突破，以及政策支持、本土企业推出一系列高性能产品等驱动下，我国高端气体质量流量控制器国产化率将有所提高。
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