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FOUP更适配12英寸晶圆 我国国产化进程不断推进

2026-07-18 17:47      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:


  FOUP(Front Opening Unified Pod,前开式晶圆传送盒),是半导体制造工艺中的一种晶圆载具,在半导体制程中被用于保护、运送、存储晶圆。

  FOUP主要用于晶圆传输和晶圆加工过程中的运输,核心作用是保护晶圆免受外界冲击,避免在运输过程中被污染。FOUP的身份识别、环境记录、工艺匹配、流转追踪等均会直接影响芯片良率与生产稳定性,目前FOUP类晶圆盒主要有自动化搬送、人工搬送两种常见搬送方式。

  FOUP与SMIF都是SEMI标准下的晶圆隔离/洁净传输容器,相比于SMIF,FOUP具有高洁净、内部环境稳定、自动化兼容性好、安全性高等优势,更适配大尺寸晶圆(12英寸),随着半导体产业向更小线宽、更高集成度发展,FOUP应用需求正不断释放。

  根据新思界产业研究中心发布的《2026-2030年FOUP(前开式晶圆传送盒)行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,近年来,晶圆尺寸正逐渐从8英寸向12英寸(300mm)演进,7nm、5nm及以下先进制程技术加速普及。目前12英寸晶圆约占据全球产能的70%,我国12英寸晶圆月产能在300万片左右。我国是全球12英寸晶圆主产国之一,FOUP作为12英寸晶圆转运的核心载体,市场发展空间广阔。

  长期以来,全球高端晶圆载具市场由欧美日企业占据主导,包括美国英特格(Entegris)、应用材料、日本信越化学、大日商事株式会社、美国Brooks Automation、Asyst Technologies、韩国SANG-A FRONTEC等,其中美国英特格是国际头部企业。FOUP等晶圆载具技术壁垒极高,国际企业通过技术创新、供应链优化、全球市场布局等方式占据市场主导地位。

  我国FOUP市场起步较晚,近年来,在国产替代大背景下,我国也涌现处于一批优秀的FOUP供应商,包括昌红科技及子公司鼎龙蔚柏、荣耀电子、苏州新晶舟半导体、浙江赛瑾半导体、上海果纳半导体等。在某国内晶圆厂商2026年度招标中,昌红科技子公司鼎龙蔚柏的晶圆载具及耗材斩获了60%-70%的采购份额,国产产品份额首次超过进口供应商。

  新思界行业分析人士表示,作为12英寸晶圆厂自动化传送的核心载具,FOUP市场需求正不断释放。由于技术壁垒高,目前全球FOUP市场由国外企业占据主导,我国市场需求长期依赖进口。但近年来,以昌红科技、荣耀电子等为代表的国内企业逐渐实现批量交付突破,FOUP国产化进程加快。

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