2026年09月09日
单向双面挤压涂布机（SDC），指在同一方向上实现基材正反两面同时涂布的新型挤压涂布设备。单向双面挤压涂[全文]
火箭贮箱是液体运载火箭的核心关键结构，用于容纳、贮存液氧、液氢、甲烷等发动机燃烧所用的推进剂，同时承[全文]
离子束溅射镀膜机，亦称离子束沉积镀膜机，属于物理气相沉积（PVD）设备，其基本原理是利用离子源产生高能[全文]
激光清洗机器人，指融合高能激光清洗技术与自动化控制系统的智能装备。激光清洗机器人的工作原理指物体表面[全文]
离子束抛光机，指利用高能离子束在真空环境中轰击工件表面，实现原子量级材料去除的超精密加工设备。离子束[全文]
超精密抛光头，指用于实现纳米级乃至亚纳米级表面加工的关键执行部件，为超精密抛光装备重要组成部分。超精[全文]
多晶硅反应器，是用于生产太阳能级、电子级多晶硅的关键反应装备，主要应用于改良西门子法和流化床法两大技[全文]
磁流变抛光机，又称磁流变光整加工设备，指利用磁流变液在磁场作用下发生流变效应，使磨料对工件表面进行剪[全文]
双面研磨抛光机，指用于同时加工工件两个相对平行平面的精密机械加工设备。双面研磨抛光机具备工作效率高、[全文]
碳化硅边缘环，又称碳化硅耐压环，为芯片重要组成部分，通常环绕于芯片开关单元外围，构成最外圈结构层。碳[全文]
环面包络蜗轮蜗杆减速器，指以环面包络蜗杆副为核心传动部件的减速装置。环面包络蜗轮蜗杆减速器具备承载能[全文]
动态循环管式反应器是一种新型连续流反应设备，集合了动态管式反应器和循环管式反应器两者优点。动态循环管[全文]
动态管式反应器（DTR）是一种高长径比（L/D）管式结构、内置搅拌轴的管式连续流反应器，可独立于主体流体流[全文]
石英扩散管，是一种用于扩散、氧化、退火等高温工艺的高纯度熔融石英容器。石英扩散管具备抗热冲击、纯度高[全文]
光刻物镜即光刻投影物镜，是由二三十片精密透镜或六面超大反射镜组成的光学系统，用于光线聚焦，并将掩模上[全文]
氢气涡轮机，指以氢气为燃料的动力装置。氢气涡轮机工作原理与传统涡轮机基本相同，具备输出功率大、工作范[全文]
气体纯化设备，指根据原料气中所含不同成分杂质以及需要去除杂质类型，采用不同工艺对原料气进行提纯的装置[全文]
蓄热式焚烧炉简称RTO，是一种用于中高浓度的有机废气治理设备，工作原理在高温条件下（一般760℃）将有机废[全文]
外置激光源简称ELS，是指独立于光模块或芯片封装之外、通过保偏光纤（PMF）或波导向光学引擎（光收发模块）[全文]
CW激光器，即连续波激光器，是指在工作时间内持续、稳定输出激光光束的激光器类型，其工作物质激励和激光输[全文]
