超纯石英,是指二氧化硅(SiO2)纯度不低于99.999%(5N)级别的石英材料,其杂质元素总量需严格控制在10ppm以内,特定杂质元素(如铝、钾、钠、铁、钛等)含量甚至需达到十亿分之一(ppb)级别。
按照纯度来划分,石英材料可以分为3N级(99.9%)、4N级(99.99%)、4N8级(99.998%)、5N级(99.999%)、6N级(99.9999%)。2025年12月,我国国家发展改革委、商务部联合发布《鼓励外商投资产业目录(2025年版)》,在全国鼓励外商投资产业目录中提到高纯(≥99.998%)超纯(≥99.999%)石英原料提纯加工,将纯度在5N级别(99.999%)及以上的石英材料列为超纯石英。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国超纯石英行业研究及十五五规划分析报告》显示,超纯石英的结构为三方晶系硅氧四面体三维网状晶体,具有优异的化学稳定性(耐酸、耐腐蚀)、极低的热膨胀系数、耐高温性、高电阻率、高光学透过率。超纯石英可以应用在半导体设备、石英坩埚、功能玻璃等制造领域。在半导体领域,超纯石英可以用来制造极紫外(EUV)光刻机透镜、刻蚀腔体内衬、扩散炉石英管、石英舟等;在石英坩埚领域,超纯石英可用于半导体级12英寸晶圆拉晶工序的石英坩埚制造方面。
在海外,超纯石英生产企业主要有美国矽比科、挪威TQC等。在我国,江苏太平洋石英股份有限公司是最具代表性的超纯石英研制企业,其具有自主研发的工艺和设备,拥有多项发明专利,产品SiO2含量在99.995-99.999%之间,可以用于光源、光伏、光学、光纤、半导体等领域。
2025年,自然资源部发布公告,正式将高纯石英矿列为我国第174号法定矿种,明确其为战略性矿产资源,为我国超纯石英产业发展提供了政策保障。
我国超纯石英研究机构与布局企业不断增多。从专利来看,2024年7月,东华大学、兰陵县益新矿业科技有限公司公开了“一种利用云母伟晶岩制备5N高纯石英砂的方法”专利;2026年1月,贺兰山实验室、北方民族大学公开了“一种复合场调控下低酸耗5N级石英砂及其制备方法和应用”专利,通过多物理场协同提高提纯效率。
新思界
行业分析人士表示,从产能建设来看,2025年3月,苏州晶固新材料科技有限公司投资建设的晶固超高纯石英材料项目投产,能够获得纯度5N5、大于6N级别的高纯度石英砂;2025年9月,中建材玻璃新材料研究院集团有限公司先进超纯石英材料应用研发基地(二期)项目环评批复,其中包括建设一条1000t/a5N级高纯石英砂生产线。
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