铪是一种过渡金属,具有电子发射能力高、吸热放热速度快、耐高温等优点,且制造成电子器件时能耗低。铁电材料是同时具有铁电性与压电性的材料,可自发极化,且自发极化偶极矩可随着外施电场的方向改变。铪基铁电,是基于铪氧化物采用纳米工艺制造而成的新型铁电材料,在电子信息产业中拥有巨大发展潜力。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年铪基铁电行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,铁电材料在电子信息产业中应用极为广泛,例如随机存取存储器、铁电隧道结存储器、光电调制器、压电式换能器等均需要利用铁电材料,因此其需求量随着电子信息产业发展而不断提升。2020年,全球铁电材料市场规模约为5.4亿美元,预计未来5年将以6.2%左右的增速快速增长,到2025年市场规模将达到7.3亿美元。目前的铁电材料性能还有较大提升空间,新型铁电材料研究还在不断深入,铪基铁电是新型铁电材料中受关注度较高的一种。
纳米铪基铁电材料可用来制造晶体管、存储器材料等,可提升存储器、处理器性能,其中,铪基铁电存储器受关注度高。全球半导体技术持续进步,制程工艺节点不断缩小,现有材料的性能开发已接近物理极限,难以再大幅提升。而大数据、云计算、人工智能、物联网等产业迅猛发展,数据存储及处理要求仍在快速提高,因此新型材料的研发极为迫切。利用铪基铁电的优异性能可制造出存取速度快、存储容量大、低功耗、与CMOS工艺兼容的新型存储器,成为有力候选者。
铪基铁电的部分性能仍缺乏理论支撑,现阶段还处于技术研究阶段,相关研究成果不断问世。2016年9月,日本东京工业大学与东北大学合作团队,探明了外延氧化铪基(HfO2基)薄膜的特性,证实了稳定的铁电相高达450℃。2021年11月,中国河北大学物物理科学与技术学院纳米器件课题组,通过超薄介电薄膜(Al2O3)取代金属覆盖层的方式在10 nm厚的铁电Hf0.5Zr0.5O2(HZO)薄膜中成功诱发了铁电性。
新思界
行业分析人士表示,在电子信息技术快速发展背景下,我国政府对相关先进材料的关注度高。“十四五”国家重点研发计划“纳米前沿”重点专项中,纳米尺度铪基铁电材料与器件被列入,提出面向大数据时代对存储器高速、高密度和低功耗的需求,开展新型铪基铁电机理、存储单元与三维集成技术的研究。总的来看,虽然目前铪基铁电仍处于研究阶段,但其在电子信息产业中发展潜力大,未来市场前景广阔。