三氟乙酰氟（TFAF），化学式为CF₃COF，CAS号354-34-7，分子量116.014，是一种含氟有机化合物。电子级三氟乙酰氟指纯度达到半导体工艺要求的三氟乙酰氟，具备刻蚀性能优异、环境友好、杂质含量低等特点，在半导体制造领域有所应用。
电子级三氟乙酰氟制备方法包括三氟乙酰氯氟化法、三氟乙酸转化法、电解氟化法以及气相催化连续制备法等。三氟乙酰氯氟化法以三氟乙酰氯为原料，与氟化试剂反应，进而制得成品；电解氟化法以乙酰氯和氟化钠为原材料，加入硫酸催化剂，经过电解反应制得成品。近年来，伴随研究深入，我国已有多家企业掌握电子级三氟乙酰氟连续化制备方法。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年电子级三氟乙酰氟行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，电子级三氟乙酰氟主要应用于半导体制造领域。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2026年1-5月，我国集成电路产量达到2286亿块，同比增长25.4%。电子级三氟乙酰氟可用于半导体离子刻蚀工艺中。未来伴随下游行业发展速度加快，我国电子级三氟乙酰氟市场空间将得到进一步扩展。
电子级三氟乙酰氟属于含氟电子特气。近年来，国家对于电子特气行业发展高度重视，已出台多项相关政策，主要包括《精细化工产业创新发展实施方案（2024-2027年）》、《西部地区鼓励类产业目录（2025年本）》、《鼓励外商投资产业目录（2025年版）》、《产业结构调整指导目录（2024年本）》等。未来伴随国家政策支持，我国电子级三氟乙酰氟行业发展速度有望加快。
我国电子级三氟乙酰氟主要生产企业包括山东东岳未来氢能材料有限公司、山东中柔新材料有限公司、深圳新宙邦科技股份有限公司、泉州宇极新材料科技有限公司等。东岳未来推出的电子级三氟乙酰氟产品纯度可达99.5%以上。宇极新材料正在推进含氟电子特气生产线建设，建成后其电子级三氟乙酰氟年产能将达到5吨。
新思界
行业分析人士表示，电子级三氟乙酰氟为含氟电子特气细分产品，未来伴随下游行业发展速度加快，其市场空间将得到进一步扩展。受益于国家政策支持以及技术进步，我国电子级三氟乙酰氟行业发展前景持续向好。未来伴随本土企业持续发力，我国电子级三氟乙酰氟产能有望扩张。
关键字：
