半导体残余气体分析仪是一种专门用于检测真空系统中残余气体的精密仪器。其核心在于质谱分析技术，通过电离气体分子并测量其质量-电荷比，从而精确识别并测量样品中的不同气体成分。这种技术赋予了半导体残余气体分析仪实时、准确、全面的气体检测能力，对于半导体制造过程中确保生产环境的纯净度和精确控制至关重要。
半导体残余气体分析仪能够检测到极低浓度的残余气体，覆盖半导体制造过程的多种检测需求。同时，半导体残余气体分析仪还具备实时监测与智能控制功能，通过集成先进的数据处理系统与远程通信接口，能够实时采集并分析检测数据，为用户提供直观、易懂的结果报告，确保生产过程的顺利进行与产品的持续优化。
在全球市场中，半导体残余气体分析仪生产企业集中在发达国家和地区，如瑞士、美国、日本等，上述国家和地区工业化时间较早，半导体残余气体分析仪产品的研究相对深入，在产品的生产设备、工艺优化、产品质量、参数控制等方面处于领先地位，代表企业包括美国斯坦福SRS、美国MKS、瑞士INFICON英福康、日本爱发科等。
中国半导体残余气体分析仪行业发展较国外晚，随着国内半导体行业良好的发展态势，半导体相关的设备、仪器仪表市场不断扩大，中国半导体残余气体分析仪行业迎来了快速发展机会。此外，随着下游市场生产效率要求提升，形成了一批以聚光科技（杭州）股份有限公司、上海奕瑞光电子科技股份有限公司等企业为代表的本土企业，本土化替代程度持续加强。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025-2029年中国半导体残余气体分析仪市场可行性研究报告》显示，中国半导体残余气体分析仪市场呈现出稳步增长的趋势。随着半导体行业的快速发展和工艺节点的不断缩小，对生产环境的纯净度和控制要求越来越高，半导体残余气体分析仪的需求量也随之增加。同时，行业内企业也在不断加强技术研发和产品创新，提升产品的性能和功能，以满足市场的多样化需求。2023年，中国半导体残余气体分析仪行业需求量增至1223台。
新思界
行业分析人士表示，未来中国半导体残余气体分析仪行业将面临更多机遇与挑战。一方面，半导体技术的持续进步与新兴应用领域的蓬勃发展，将持续激发半导体残余气体分析仪的市场需求；另一方面，行业内技术的快速更迭与市场竞争的白热化趋势亦将加剧。为了维持竞争优势，企业需不断追加研发投资，促进技术创新，并深化产业链上下游的协同合作，共同为半导体残余气体分析仪行业的稳健前行贡献力量。此外，面对全球化步伐的加快与数字化转型的浪潮，企业还需着眼于国际市场的拓展与自身的数字化转型，致力于提升服务响应速度与客户满意度，以灵活应对市场环境的复杂多变。
