蓄热式热力焚化炉，也称蓄热式焚烧炉、蓄热式氧化炉，英文简称RTO，是一种有机废气处理装置，有机废气通过[全文]

VOCs焚烧，采用燃烧方法将废气中的VOCs转化为无害物质的技术，以达到废气净化目的，也称VOCs燃烧净化，通常[全文]

VOCs吸附回收，是利用吸附剂对废气中的VOCs进行物理吸附，并脱附回收利用VOCs的技术，目的是实现废气净化、[全文]

电解铝烟气脱硫脱氟除尘，是在电解铝生产过程中，利用一系列技术手段，去除其排放烟气中的粉尘、二氧化硫、[全文]

袋式除尘器是一种常见的干式除尘、烟气净化装置，结构简单、易于操作。预荷电利用电场使微细颗粒物质带上电[全文]

移相变压器（PST），指可通过改变变压器绕组之间相位差来调节电网中电流相位，以实现对于电网电流和电压精[全文]

半导体废气处理设备，又称半导体专用工艺废气处理设备，指在半导体制造业中用于处理和净化生产过程中所产生[全文]

半导体温控设备，又称半导体专用温控设备，指在半导体制造过程中用于控制温度的关键设备。半导体温控设备具[全文]

晶圆传片机，又称晶圆搬运设备、晶圆传输系统，指在不同半导体制造工艺之间安全、高效地传输晶圆的设备。晶[全文]

截齿激光熔覆设备是一种专用于对截齿进行激光熔覆处理的先进设备。截齿激光熔覆设备通常由激光器、送粉系统[全文]

超低排放成套技术装备，是集成多种排放控制技术，利用除尘、脱硫、脱硝等工艺，将工业生产过程中排放烟气中[全文]

组合式一体化净水器，是集絮凝、沉淀、分离、排污、过滤、反冲洗、消毒等功能于一体的具有全套功能的净水设[全文]

无图形晶圆缺陷检测设备，又称无图案晶圆缺陷检测设备，指在晶圆尚未形成电路图案阶段进行缺陷检测的设备。[全文]

图形晶圆缺陷检测设备，指在晶圆上已经形成微电子器件图形之后，对其缺陷进行检测的设备。图形晶圆缺陷检测[全文]

直接电离离子源是一种特殊的离子源类型，其产生的等离子体可直接电离液态、固体等样品实现离子化。离子源是[全文]

撬毛台车，是在地下工程作业中，清除作业现场可能会对人员与设备造成危害的不稳固浮石的装置，在爆破作业后[全文]

天井钻机，是破岩成孔并能反向扩孔的设备，主要用于地下工程中，进行垂直或者倾斜钻孔，随着技术进步，还可[全文]