特种气体是指应用于在特殊领域，对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。电子气体是特种气体的一个重要分支，半导体工业中所用到的气体统称为电子气体。
电子气体种类繁多，主要包括砷烷、磷烷、硅烷、氨气、四氟化碳、六氟化硫、氯化氢、八氟环丁烷、甲烷、一氧化二氮、三氯化硼、溴化氢、一氧化碳、氖气、氪气等。
电子气体是超大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不可缺少的原材料，它们广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。
近年来，随着我国微电子、光电子等电子信息产业的发展，电子气体的需求也越来越大，但我国电子气体行业起步晚，技术较国外还有差距，电子气体市场长期被外企垄断，电子气体产品的价格也比较高。不过，电子信息产业的发展也使我国企业意识到了电子气体重要性，不断引进设备，加大技术研发，并在生产、储存等关键技术上取得了突破，部分生产设备实现国产化，基本打破了国外垄断。受益于我国电子气体行业的发展，技术的进步，我国电子气体产品的价格也逐渐下降。
据新思界产业研究中心发布的
《2017-2021年中国电子气体市场调查及投资潜力研究报告》，2013年我国电子气体产品的价格为8.08万元/吨，2014年价格为8.10万元/吨，2015年价格为7.95万元/吨。预计，2016-2019年我国电子气体的价格将不断下降，到2019年价格将下降到7.77万元/吨。
图表：2013-2016年中国电子气体产品价格走势分析
数据来源：中国工业气体工业协会，新思界产业研究中心整理
目前，我国大部分企业从事电子气体的分装、销售等经营活动，仅少数开展过研制工作，并且研发主要针对个别气体品种，缺乏电子气共性、基础、关键技术的系统集成研发，技术水平较低，尤其是高纯电子气体方面的技术。我国电子气体行业技术水平有待提高。
据新思界
产业研究员分析，由于技术水平等因素的限制，我国电子气体产品品种比较单一，没有形成系列化，尤其是高纯电子气体种类较少，国内高纯气体市场几乎被外资企业垄断。而且，国产的电子气体稳定性较差，质量有待提高。
